Bandeja epitaxial de silício monocristalino com revestimento SiC

A bandeja epitaxial de silício monocristalino com revestimento SiC da VeTek semiconductor é especialmente projetada para crescimento epitaxial de silício monocristalino e desempenha um papel importante na aplicação industrial de epitaxia de silício monocristalino e dispositivos semicondutores relacionados.Revestimento de SiCnão apenas melhora significativamente a resistência à temperatura e à corrosão da bandeja, mas também garante estabilidade a longo prazo e excelente desempenho em ambientes extremos.

Vantagens do revestimento SiC

●  Alta condutividade térmica: O revestimento SiC melhora muito a capacidade de gerenciamento térmico da bandeja e pode dispersar com eficácia o calor gerado por dispositivos de alta potência.

●  Resistência à corrosão: O revestimento SiC funciona bem em ambientes corrosivos e de alta temperatura, garantindo vida útil e confiabilidade de longo prazo.

●  Uniformidade da superfície: Proporciona uma superfície plana e lisa, evitando efetivamente erros de fabricação causados ​​por irregularidades superficiais e garantindo a estabilidade do crescimento epitaxial.

De acordo com a pesquisa, quando o tamanho dos poros do substrato de grafite está entre 100 e 500 nm, um revestimento gradiente de SiC pode ser preparado no substrato de grafite, e o revestimento de SiC tem uma capacidade antioxidante mais forte. a resistência à oxidação do revestimento de SiC nesta grafite (curva triangular) é muito mais forte do que a de outras especificações de grafite, adequada para o crescimento de epitaxia de silício de cristal único. A bandeja epitaxial de silício monocristalino com revestimento SiC da VeTek Semiconductor usa grafite SGL comosubstrato de grafite, que é capaz de atingir tal desempenho.

A bandeja epitaxial de silício monocristalino com revestimento SiC da VeTek Semiconductor usa os melhores materiais e a mais avançada tecnologia de processamento. Mais importante ainda, não importa quais sejam as necessidades de personalização do produto que os clientes tenham, podemos fazer o nosso melhor para atendê-las.

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC

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