Porta-wafers de grafite revestido com TaC

Você pode ter a certeza de comprar um transportador de wafer de grafite revestido com TaC personalizado da VeTek Semiconductor. Estamos ansiosos para cooperar com você, se quiser saber mais, pode nos consultar agora, responderemos a tempo!

VeTek Semiconductor TaC Coated Graphite Wafer Carrier interage diretamente com wafers no reator epitaxy, aumentando a eficiência e o desempenho. Com a opção de revestimento de carboneto de silício ou carboneto de tântalo, o transportador de wafer de grafite revestido com TaC da VeTek Semiconductor oferece vida útil prolongada, até 2 a 3 vezes mais longa com carboneto de tântalo. Compatível com vários modelos de máquinas, incluindo fornos epitaxiais LPE SiC, JSG, fornos epitaxiais NASO.

O transportador de grafite revestido com TaC da VeTek Semiconductor garante estequiometria de reação precisa, evita a migração de impurezas e mantém a estabilidade de temperatura além de 2.000°C. Apresenta notável resistência a H2, NH3, SiH4 e Si, protegendo contra ambientes químicos agressivos. Resistindo a choques térmicos, permite ciclos operacionais rápidos sem delaminação do revestimento.

O revestimento VeTek Semiconductor TaC garante pureza ultra-alta, elimina impurezas e garante cobertura conformada atendendo a tolerâncias dimensionais rigorosas. Com os recursos avançados de processamento de grafite da VeTek Semiconductor, estamos equipados para atender às suas necessidades de personalização. Quer você precise de serviços de revestimento ou soluções abrangentes, nossa equipe de engenheiros especializados está pronta para projetar a solução perfeita para suas aplicações específicas. Confie em nós para fornecer produtos de alta qualidade adaptados às suas necessidades e expectativas.

Método PVT SiC Crystal Growth

Parâmetro do produto do transportador de wafer de grafite revestido com TaC

Oficina de produção de semicondutores VeTek

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: