Anel revestido com TaC

O anel revestido VeTeksemi TaC é um componente de alto desempenho feito sob medida para processos de fabricação de semicondutores. Seu revestimento de carboneto de tântalo (TaC) de design exclusivo confere ao produto excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão e estabilidade mecânica, melhorando significativamente a vida útil e a confiabilidade dos componentes de grafite em equipamentos semicondutores.

Desempenho superior de revestimentos de carboneto de tântalo:

●   Resistência a temperaturas ultra-altas: os revestimentos TaC podem suportar facilmente temperaturas extremas de até 2.200°C e permanecer estáveis ​​sob ambientes de choque térmico comuns na fabricação de semicondutores.

●   Excelente estabilidade química: O revestimento apresenta forte resistência a gases corrosivos comuns, como hidrogênio, amônia, silano e silício, protegendo eficazmente o substrato contra ataques químicos.

●   Excelentes propriedades mecânicas: o revestimento TaC possui alta dureza, alta resistência ao desgaste e boa resistência ao choque térmico, e pode operar de forma estável por um longo tempo sob condições de trabalho adversas.

●   Excelente adesão: O revestimento é firmemente aderido ao substrato de grafite, evitando efetivamente que o revestimento se descasque e garantindo um desempenho consistente durante toda a vida útil do produto.

●   Alta pureza: O revestimento TaC preparado pela CVD possui pureza extremamente alta, o que minimiza a introdução de impurezas e fornece um ambiente de processo limpo para a fabricação de semicondutores.

Vantagens dos anéis revestidos de carboneto de tântalo:

●   Vida útil prolongada do equipamento: O revestimento TaC bloqueia efetivamente reações químicas e difusão de impurezas, prolongando significativamente a vida útil dos componentes de grafite e reduzindo os custos de manutenção.

●   Melhorar a eficiência da produção: A resistência a altas temperaturas e à corrosão do produto permite que ele opere em condições mais exigentes, encurtando o ciclo de produção e aumentando a capacidade de produção.

●   Melhor qualidade do produto: O revestimento TaC de alta pureza ajuda a reduzir a contaminação, garantindo a qualidade e consistência dos produtos semicondutores.

A VeTek Semiconductor é especializada em produtos de revestimento TaC, comoMandril de revestimento TaC, Placa de rotação de revestimento TaC, Empreiteiro de revestimento TaC, Susceptor de wafer revestido com TaCpor muitos anos. Nossos produtos de anel revestido com TaC têm as funções de maior vida útil do equipamento, maior eficiência de produção e melhor qualidade do produto. Ao mesmo tempo, a VeTek Semiconductor está há muito comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores. Esperamos sinceramente nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

Lojas de anéis revestidos de carboneto de tântalo: