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Transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza
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Transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza

VeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier são componentes importantes no processamento de semicondutores, projetados para segurar e transportar com segurança wafers de silício delicados, desempenhando um papel fundamental em todas as etapas da fabricação. O transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza da VeTek Semiconductor é cuidadosamente projetado e fabricado para garantir excelente desempenho e confiabilidade. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

VeTek Semiconductor é um fabricante líder profissional de transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza na China com alta qualidade e preço razoável. Bem-vindo a entrar em contato conosco.

O transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza da VeTek Semiconductor é um transportador projetado para vários wafers para maximizar a eficiência de espaço dentro da câmara de processo. Esses transportadores de wafer de carboneto de silício de alta pureza são normalmente retangulares ou cilíndricos, e cada transportador possui ranhuras ou ranhuras usinadas com precisão que são separadas umas das outras para segurar firmemente um único wafer na posição vertical. O transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza tem excelente resistência a altas temperaturas, produtos químicos corrosivos e estresse mecânico, tornando-os ideais para proteger wafers de danos potenciais. Eles são fabricados em carboneto de silício (SiC) de alta pureza para garantir a integridade e segurança dos wafers durante o processamento.

Os transportadores de wafer de carboneto de silício de alta pureza desempenham um papel vital em processos complexos, como difusão, RTP e campos térmicos, servindo como um transportador estável para wafers para obter uma transferência perfeita entre diferentes equipamentos e estágios. Sua estrutura vertical minimiza o espaço na câmara de processo, otimiza o rendimento da produção e pode lidar com eficiência com grandes lotes de wafers. Os transportadores de wafer de carboneto de silício de alta pureza são conhecidos por sua excelente resistência a altas temperaturas, corrosão e resistência mecânica para proteger os wafers de danos potenciais.

O transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza da VeTek Semiconductor é feito de carboneto de silício de alta pureza (SiC) e tem excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão química e resistência mecânica para proteger a integridade dos wafers em ambientes agressivos. Sua estrutura cuidadosamente projetada e slots processados ​​com precisão garantem que os wafers estejam firmemente posicionados para atender às necessidades de processamento de alta precisão.

A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer aos clientes produtos de alta qualidade e suporte técnico confiável. Seja no crescimento de wafer, difusão, deposição de filme fino ou outros processos críticos, o transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza da VeTek Semiconductor pode desempenhar um papel importante para garantir a estabilidade e consistência do processo de fabricação. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.


Parâmetro do produto do transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza

Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado
Propriedade Valor típico
Temperatura de trabalho (°C) 1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente)
Conteúdo SiC > 99,96%
Conteúdo Si grátis <0,1%
Densidade aparente 2,60-2,70g/cm3
Porosidade aparente <16%
Força de compressão > 600MPa
Resistência à flexão a frio 80-90MPa (20°C)
Resistência à flexão a quente 90-100MPa (1400°C)
Expansão térmica @1500°C 4,70 10-6/°C
Condutividade térmica @1200°C 23  W/m·K
Módulo elástico 240 GPa
Resistência ao choque térmico Extremamente bom


Oficina de produção de semicondutores VeTek


Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:


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