VeTek Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Carrier são componentes importantes no processamento de semicondutores, projetados para segurar e transportar com segurança wafers de silício delicados, desempenhando um papel fundamental em todas as etapas da fabricação. O transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza da VeTek Semiconductor é cuidadosamente projetado e fabricado para garantir excelente desempenho e confiabilidade. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.
VeTek Semiconductor é um fabricante líder profissional de transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza na China com alta qualidade e preço razoável. Bem-vindo a entrar em contato conosco.
O transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza da VeTek Semiconductor é um transportador projetado para vários wafers para maximizar a eficiência de espaço dentro da câmara de processo. Esses transportadores de wafer de carboneto de silício de alta pureza são normalmente retangulares ou cilíndricos, e cada transportador possui ranhuras ou ranhuras usinadas com precisão que são separadas umas das outras para segurar firmemente um único wafer na posição vertical. O transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza tem excelente resistência a altas temperaturas, produtos químicos corrosivos e estresse mecânico, tornando-os ideais para proteger wafers de danos potenciais. Eles são fabricados em carboneto de silício (SiC) de alta pureza para garantir a integridade e segurança dos wafers durante o processamento.
Os transportadores de wafer de carboneto de silício de alta pureza desempenham um papel vital em processos complexos, como difusão, RTP e campos térmicos, servindo como um transportador estável para wafers para obter uma transferência perfeita entre diferentes equipamentos e estágios. Sua estrutura vertical minimiza o espaço na câmara de processo, otimiza o rendimento da produção e pode lidar com eficiência com grandes lotes de wafers. Os transportadores de wafer de carboneto de silício de alta pureza são conhecidos por sua excelente resistência a altas temperaturas, corrosão e resistência mecânica para proteger os wafers de danos potenciais.
O transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza da VeTek Semiconductor é feito de carboneto de silício de alta pureza (SiC) e tem excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão química e resistência mecânica para proteger a integridade dos wafers em ambientes agressivos. Sua estrutura cuidadosamente projetada e slots processados com precisão garantem que os wafers estejam firmemente posicionados para atender às necessidades de processamento de alta precisão.
A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer aos clientes produtos de alta qualidade e suporte técnico confiável. Seja no crescimento de wafer, difusão, deposição de filme fino ou outros processos críticos, o transportador de wafer de carboneto de silício de alta pureza da VeTek Semiconductor pode desempenhar um papel importante para garantir a estabilidade e consistência do processo de fabricação. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.
Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado | |
Propriedade | Valor típico |
Temperatura de trabalho (°C) | 1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente) |
Conteúdo SiC | > 99,96% |
Conteúdo Si grátis | <0,1% |
Densidade aparente | 2,60-2,70g/cm3 |
Porosidade aparente | <16% |
Força de compressão | > 600MPa |
Resistência à flexão a frio | 80-90MPa (20°C) |
Resistência à flexão a quente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansão térmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Condutividade térmica @1200°C | 23 W/m·K |
Módulo elástico | 240 GPa |
Resistência ao choque térmico | Extremamente bom |