VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional na China de barco wafer de carboneto de silício para forno horizontal, com anos de experiência em P&D e produção, pode controlar bem a qualidade e oferecer um preço competitivo. Você pode ter a certeza de comprar conosco o barco wafer de carboneto de silício para forno horizontal.
O barco wafer de carboneto de silício de alta qualidade para forno horizontal é oferecido pelo fabricante chinês VeTek Semiconductor. Compre barco wafer de carboneto de silício para forno horizontal, que é de alta qualidade diretamente da fábrica com preço baixo. O barco wafer de carboneto de silício para forno horizontal é usado em tubos de forno para carregar e transferir wafers durante tratamentos de alta temperatura. Devido às excelentes propriedades dos materiais de carboneto de silício, como resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão química e estabilidade térmica, eles são amplamente utilizados em vários processos de tratamento térmico, como difusão, oxidação, CVD e recozimento.
1. Alta dureza e resistência ao desgaste: O carboneto de silício tem uma dureza que perde apenas para o diamante, tornando-o altamente resistente ao desgaste. Isso permite que os barcos de carboneto de silício suportem repetidos impactos mecânicos e fricção, prolongando sua vida útil.
2. Resistência a altas temperaturas: O carboneto de silício tem um ponto de fusão de 2730 ° C, tornando os barcos de carboneto de silício adequados para ambientes de alta temperatura e vários processos de fabricação de semicondutores, como oxidação e difusão em alta temperatura.
3. Baixo coeficiente de expansão térmica: O carboneto de silício possui um baixo coeficiente de expansão térmica, o que ajuda a manter a estabilidade dimensional em altas temperaturas, evitando a deformação do barco e afetando a precisão do processamento do wafer.
4. Boa estabilidade química: O carboneto de silício é resistente à maioria dos produtos químicos e não reage com soluções ácidas e alcalinas comuns, garantindo a segurança e limpeza dos wafers.
Podemos fabricar diferentes tipos de barcos wafer de carboneto de silício, como barcos wafer horizontais, barcos wafer verticais e quaisquer outros barcos personalizados.
Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado | |
Propriedade | Valor típico |
Temperatura de trabalho (°C) | 1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente) |
Conteúdo SiC | > 99,96% |
Conteúdo Si grátis | <0,1% |
Densidade aparente | 2,60-2,70g/cm3 |
Porosidade aparente | <16% |
Força de compressão | > 600MPa |
Resistência à flexão a frio | 80-90MPa (20°C) |
Resistência à flexão a quente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansão térmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Condutividade térmica @1200°C | 23 W/m·K |
Módulo elástico | 240 GPa |
Resistência ao choque térmico | Extremamente bom |
O barco wafer de carboneto de silício para fornos horizontais encontra amplas aplicações nas indústrias de semicondutores e fotovoltaicas:
Limpeza e gravação de wafer
Difusão e oxidação
Galvanoplastia e gravação
Polimento Químico Mecânico (CMP)
Tratamento térmico
Transferência e armazenamento de wafer