Tubo de Processo SiC
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Tubo de Processo SiC

A VeTek Semiconductor fornece tubos de processo SiC de alto desempenho para fabricação de semicondutores. Nossos tubos de processo SiC são excelentes em processos de oxidação e difusão. Com qualidade e acabamento superiores, esses tubos oferecem estabilidade em altas temperaturas e condutividade térmica para processamento eficiente de semicondutores. Oferecemos preços competitivos e procuramos ser seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto


A VeTek Semiconductor também é líder na ChinaSiC CVDeTaCfabricante, fornecedor e exportador. Aderindo à busca da perfeita qualidade dos produtos, para que nossa Tubos de processo de SiC tenha sido atendida por muitos clientes.Design extremo, matérias-primas de qualidade, alto desempenho e preço competitivosão o que todo cliente deseja e é também isso que podemos oferecer a você. Claro, também essencial é o nosso serviço pós-venda perfeito. Se você está interessado em nossas peças de reposição para serviços de semicondutores, pode nos consultar agora, responderemos a tempo!


O tubo de processo VeTek Semiconductor SiC é um componente versátil amplamente empregado na fabricação de dispositivos semicondutores, fotovoltaicos e microeletrônicos para seuatributos excepcionais, como estabilidade em altas temperaturas, resistência química e condutividade térmica superior. Essas qualidades o tornam a escolha preferida para processos rigorosos de alta temperatura, garantindo distribuição consistente de calor e um ambiente químico estável que melhora significativamente a eficiência de fabricação e a qualidade do produto.


O tubo de processo SiC da VeTek Semiconductor é reconhecido por seu desempenho excepcional, comumenteutilizado em oxidação, difusão, recozimento, equímicodeposição de vapor al(DCV) processosna fabricação de semicondutores. Com foco em excelente acabamento e qualidade do produto, nosso SiC Process Tube garante processamento eficiente e confiável de semicondutores, aproveitando a estabilidade em altas temperaturas e a condutividade térmica do material SiC. Comprometidos em fornecer produtos de primeira linha a preços competitivos, aspiramos ser seu parceiro confiável e de longo prazo na China.

Somos a única planta de SiC na China com 99,96% de pureza, que pode ser usada diretamente para contato com wafer e fornecerRevestimento de carboneto de silício CVDpara reduzir o teor de impurezasmenos de 5 ppm.



Parâmetro do produto do tubo de processo SiC:

Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado
Pcorda Valor típico
Temperatura de trabalho (°C) 1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente)
Conteúdo SiC > 99,96%
Conteúdo Si grátis <0,1%
Densidade aparente 2,60~2,70g/cm3
Porosidade aparente <16%
Força de compressão > 600MPa
Resistência à flexão a frio 80~90MPa (20°C)
Resistência à flexão a quente 90~100MPa (1400°C)
Expansão térmica @1500°C 4,70 10-6/°C
Condutividade térmica @1200°C 23  W/m·K
Módulo elástico 240 GPa
Resistência ao choque térmico Extremamente bom


Semicondutor VeTekTubo de Processo SiCOficinas de produção:

SiC Process Tube Production shops


Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

semiconductor chip epitaxy industry chain


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