VeTek Semiconductor é fabricante e fornecedor profissional na China de barco wafer de carboneto de silício revestido de SiC, com anos de experiência em P&D e produção, pode controlar bem a qualidade e oferecer um preço competitivo. Bem-vindo por visitar nossa fábrica e discutir mais sobre cooperação.
VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor na China que produz principalmente barcos wafer de carboneto de silício revestido de SiC com muitos anos de experiência. Espero construir um relacionamento comercial com você. O barco de wafer de carboneto de silício revestido com SiC é usado em fornos de difusão de semicondutores para transportar os wafers para vários processos de alta temperatura, como implantação de íons, difusão e recozimento. Pode fornecer um ambiente estável para os wafers, garantindo uniformidade e consistência de temperatura durante o processamento.
Os barcos wafer de carboneto de silício revestidos com SiC têm maior resistência ao calor e estabilidade química, permitindo-lhes operar em temperaturas mais altas e proporcionar maior vida útil. Além disso, eles apresentam taxas de evaporação de material e taxas de adsorção de gás mais baixas, ajudando a reduzir o impacto de impurezas no processamento de wafers.
Podemos fabricar diferentes tipos de barcos wafer de carboneto de silício, como barcos wafer horizontais, barcos wafer verticais e quaisquer outros barcos personalizados.
1. Estabilidade em altas temperaturas
2. Inércia Química
3. Baixo teor de impurezas
4. Condutividade Térmica
Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado | |
Propriedade | Valor típico |
Temperatura de trabalho (°C) | 1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente) |
Conteúdo SiC | > 99,96% |
Conteúdo Si grátis | <0,1% |
Densidade aparente | 2,60-2,70g/cm3 |
Porosidade aparente | <16% |
Força de compressão | > 600MPa |
Resistência à flexão a frio | 80-90MPa (20°C) |
Resistência à flexão a quente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansão térmica @1500°C | 4,70 10-6/°C |
Condutividade térmica @1200°C | 23 W/m·K |
Módulo elástico | 240 GPa |
Resistência ao choque térmico | Extremamente bom |