A pá cantilever de carboneto de silício da VeTek Semiconductor é um componente importante no processo de fabricação de semicondutores, especialmente adequado para fornos de difusão ou fornos LPCVD em processos de alta temperatura, como difusão e RTP. Nossa pá cantilever de carboneto de silício é cuidadosamente projetada e fabricada com excelente resistência a altas temperaturas e resistência mecânica, e pode transportar wafers de forma segura e confiável para o tubo de processo sob condições adversas de processo para vários processos de alta temperatura, como difusão e RTP. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.
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A pá cantilever de carboneto de silício da VeTek Semiconductor é feita de carboneto de silício de alta pureza e possui excelente resistência a altas temperaturas e resistência mecânica. É um componente-chave indispensável no processo de fabricação de semicondutores, especialmente em fornos de difusão ou LPCVD e processos RTP. O design e a fabricação precisos da pá cantilever de carboneto de silício garantem o posicionamento e transferência seguros de wafers para atender aos requisitos de processo de alta precisão.
A pá cantilever de carboneto de silício da VeTek Semiconductor é feita de carboneto de silício como material principal. O carboneto de silício tem características de alta resistência e boa estabilidade térmica, de modo que pode suportar condições adversas no ambiente de processo de alta temperatura de fornos semicondutores. Uma das razões para a escolha do carboneto de silício é porque ele pode se adaptar ao ambiente de alta temperatura em fornos semicondutores.
O design da pá cantilever de carboneto de silício permite que ela se estenda para dentro do tubo de processo no forno e seja firmemente fixada em uma extremidade fora do tubo. Este design garante que o wafer processado permaneça estável e apoiado durante o processo e minimiza a interferência com o ambiente térmico no forno.
A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer produtos de remo cantilever SiC de alta qualidade. Nossos produtos são cuidadosamente projetados e fabricados para atender aos rigorosos requisitos do processo de fabricação de semicondutores. O excelente desempenho e confiabilidade da pá cantilever de carboneto de silício tornam-na um componente-chave indispensável na indústria de semicondutores. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
Propriedades físicas do carboneto de silício recristalizado | |
Propriedade | Valor típico |
Temperatura de trabalho (°C) | 1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente) |
Conteúdo SiC | > 99,96% |
Conteúdo Si grátis | <0,1% |
Densidade aparente | 2,60-2,70g/cm3 |
Porosidade aparente | <16% |
Força de compressão | > 600MPa |
Resistência à flexão a frio | 80-90MPa (20°C) |
Resistência à flexão a quente | 90-100MPa (1400°C) |
Expansão térmica @1500°C | 4.70 10-6/°C |
Condutividade térmica @1200°C | 23 W/m·K |
Módulo elástico | 240 GPa |
Resistência ao choque térmico | Extremamente bom |