Transportador de barco wafer SiC de alta pureza

A VeTek Semiconductor oferece transportador de barco wafer SiC de alta pureza personalizado. Feito de carboneto de silício de alta pureza, possui ranhuras para segurar o wafer no lugar, evitando que deslize durante o processamento. O revestimento CVD SiC também está disponível, se necessário. Como um fabricante e fornecedor profissional e forte de semicondutores, o transportador de barcos wafer SiC de alta pureza da VeTek Semiconductor tem preço competitivo e alta qualidade. A VeTek Semiconductor espera ser seu parceiro de longo prazo na China.

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Descrição do produto

O transportador de barcos wafer SiC de alta pureza VeTekSemi é um importante componente de rolamento usado em fornos de recozimento, fornos de difusão e outros equipamentos no processo de fabricação de semicondutores. O porta-barcos wafer SiC de alta pureza é geralmente feito de material de carboneto de silício de alta pureza e inclui principalmente as seguintes peças:

• Corpo de suporte para barco: estrutura semelhante a um suporte, especialmente utilizada para transportarbolachas de silícioou outros materiais semicondutores.

• Estrutura de suporte: Seu design de estrutura de suporte permite suportar cargas pesadas em altas temperaturas e não se deforma ou danifica durante o tratamento em alta temperatura.

silicon carbide material

material de carboneto de silício

Propriedades físicas deCarboneto de Silício Recristalizado：

Propriedade	Valor típico
Temperatura de trabalho (°C)	1600°C (com oxigênio), 1700°C (redução do ambiente)
Conteúdo SiC	> 99,96%
Conteúdo Si grátis	<0,1%
Densidade aparente	2,60-2,70g/cm3
Porosidade aparente	<16%
Força de compressão	> 600MPa
Resistência à flexão a frio	80-90MPa (20°C)
Resistência à flexão a quente	90-100MPa (1400°C)
Expansão térmica @1500°C	4,70*10^-6/°C
Condutividade térmica @1200°C	23 W/m·K
Módulo elástico	Módulo elástico240 GPa
Resistência ao choque térmico	Extremamente bom

Se os requisitos do processo de produção forem maiores,Revestimento CVD SiCpode ser realizado no transportador de barcos wafer SiC de alta pureza para fazer com que a pureza alcance mais de 99,99995%, melhorando ainda mais sua resistência a altas temperaturas.

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura de sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m^-1·K^-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Durante o tratamento em alta temperatura, o suporte para barcos de wafer SiC de alta pureza permite que o wafer de silício seja aquecido uniformemente para evitar superaquecimento local. Além disso, a resistência a altas temperaturas do material de carboneto de silício permite manter a estabilidade estrutural em temperaturas de 1200°C ou até mais. working principle of High purity SiC wafer boat carrier

Durante o processo de difusão ou recozimento, a pá cantilever e o transportador de barcos wafer SiC de alta pureza trabalham juntos. Oremo cantileverempurra lentamente o transportador de barcos de wafer SiC de alta pureza que transporta o wafer de silício para dentro da câmara do forno e o para em uma posição designada para processamento.

O porta-barcos de wafer SiC de alta pureza mantém contato com o wafer de silício e é fixado em uma posição específica durante o processo de tratamento térmico, enquanto a pá cantilever ajuda a manter toda a estrutura na posição correta, garantindo uniformidade de temperatura.

O transportador de barco wafer SiC de alta pureza e o remo cantilever trabalham juntos para garantir a precisão e estabilidade do processo de alta temperatura.

A VeTek Semiconductor fornece um transportador de barco wafer SiC de alta pureza personalizado de acordo com suas necessidades. Aguardamos sua consulta.

Semicondutor VeTekLojas de transportadores de barcos wafer SiC de alta pureza:

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