O que é revestimento TaC?

O revestimento TaC (revestimento de carboneto de tântalo) é um material de revestimento de alto desempenho produzido pelo processo de deposição química de vapor (CVD). Devido às excelentes propriedades do revestimento TaC sob condições extremas, ele é amplamente utilizado no processo de fabricação de semicondutores, principalmente em equipamentos e componentes que requerem alta temperatura e forte ambiente corrosivo. O revestimento TaC é geralmente usado para proteger substratos (como grafite ou cerâmica) contra danos causados ​​por altas temperaturas, gases corrosivos e desgaste mecânico.

Características e vantagens do produto

Estabilidade térmica extremamente alta:

Descrição do recurso: O revestimento TaC tem um ponto de fusão superior a 3880°C e pode manter a estabilidade sem decomposição ou deformação em ambientes de temperatura extremamente alta.

Vantagem: Isso o torna um material indispensável em equipamentos semicondutores de alta temperatura, como CVD TaC Coating e TaC Coated Susceptor, especialmente para aplicações em reatores MOCVD, como equipamentos Aixtron G5.

Excelente resistência à corrosão:

Descrição do recurso: O TaC possui inércia química extremamente forte e pode resistir com eficácia à erosão de gases corrosivos, como cloretos e fluoretos.

Vantagens: Em processos de semicondutores envolvendo produtos químicos altamente corrosivos, o revestimento TaC protege os componentes do equipamento contra ataques químicos, prolonga a vida útil e melhora a estabilidade do processo, especialmente na aplicação de wafer boat de carboneto de silício e outros componentes importantes.

Excelente dureza mecânica:

Descrição do recurso: A dureza do revestimento TaC é de 9 a 10 Mohs, o que o torna resistente ao desgaste mecânico e ao estresse em altas temperaturas.

Vantagem: A propriedade de alta dureza torna o revestimento TaC particularmente adequado para uso em ambientes de alto desgaste e alta tensão, garantindo a estabilidade e confiabilidade de longo prazo do equipamento sob condições adversas.

Baixa reatividade química:

Descrição do recurso: Devido à sua inércia química, o revestimento TaC pode manter baixa reatividade em ambientes de alta temperatura e evitar reações químicas desnecessárias com gases reativos.

Vantagem: Isto é especialmente importante no processo de fabricação de semicondutores porque garante a pureza do ambiente do processo e a deposição de materiais de alta qualidade.

O papel do revestimento TaC no processamento de semicondutores

Protegendo os principais componentes do equipamento:

Descrição da função: O revestimento TaC é amplamente utilizado em componentes-chave de equipamentos de fabricação de semicondutores, como o TaC Coated Susceptor, que precisa funcionar sob condições extremas. Ao serem revestidos com TaC, esses componentes podem operar por longos períodos em ambientes de alta temperatura e gases corrosivos sem serem danificados.

Prolongue a vida útil do equipamento:

Descrição da função: Em equipamentos MOCVD como o Aixtron G5, o revestimento TaC pode melhorar significativamente a durabilidade dos componentes do equipamento e reduzir a necessidade de manutenção e substituição do equipamento devido à corrosão e desgaste.

Melhore a estabilidade do processo:

Descrição da função: Na fabricação de semicondutores, o revestimento TaC garante a uniformidade e consistência do processo de deposição, fornecendo um ambiente químico e de alta temperatura estável. Isto é particularmente importante em processos de crescimento epitaxial, como epitaxia de silício e nitreto de gálio (GaN).

Melhore a eficiência do processo:

Descrição da função: Ao otimizar o revestimento na superfície do equipamento, o TaC Coating pode melhorar a eficiência geral do processo, reduzir a taxa de defeitos e aumentar o rendimento do produto. Isto é fundamental para a fabricação de materiais semicondutores de alta precisão e alta pureza.

A alta estabilidade térmica, excelente resistência à corrosão, dureza mecânica e baixa reatividade química exibidas pelo revestimento TaC durante o processamento de semicondutores fazem dele uma escolha ideal para proteger componentes de equipamentos de fabricação de semicondutores. À medida que a demanda da indústria de semicondutores por alta temperatura, alta pureza e processos de fabricação eficientes continua a aumentar, o revestimento TaC tem amplas perspectivas de aplicação, especialmente em equipamentos e processos envolvendo revestimento CVD TaC, TaC Coated Susceptor e Aixtron G5.

VeTek semiconductor Technology Co., LTD é fornecedora líder de materiais de revestimento avançados para a indústria de semicondutores. nossa empresa se concentra no desenvolvimento de soluções de ponta para a indústria.

Nossas principais ofertas de produtos incluem revestimentos de carboneto de silício CVD (SiC), revestimentos de carboneto de tântalo (TaC), SiC a granel, pós de SiC e materiais de SiC de alta pureza, susceptor de grafite revestido de SiC, anéis de pré-aquecimento, anel de desvio revestido de TaC, peças de meia-lua, etc. ., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.

A VeTek Semiconductor concentra-se no desenvolvimento de tecnologia de ponta e soluções de desenvolvimento de produtos para a indústria de semicondutores.Esperamos sinceramente nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.