Peça sobressalente de revestimento TaC

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional de placa de revestimento TaC e outras peças sobressalentes de revestimento TaC na China. O revestimento TaC é atualmente usado principalmente em processos como crescimento de cristal único de carboneto de silício (método PVT), disco epitaxial (incluindo epitaxia de carboneto de silício, epitaxia LED), etc. Combinado com a boa estabilidade a longo prazo da placa de revestimento TaC, VeTek Semiconductor TaC A placa de revestimento tornou-se referência em peças de reposição para revestimento TaC. Esperamos que você se torne nosso parceiro de longo prazo.

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Descrição do produto

Semicondutor VeTekPlaca de revestimento TaCé um material especial amplamente utilizado nasemicondutorprocesso de fabricação. Combinada com sua alta dureza e resistência ao desgaste, resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, baixo coeficiente de atrito e boa condutividade térmica, a placa de revestimento TaC desempenha um papel insubstituível em muitos elos do processamento de semicondutores.

Geralmente, as aplicações dePlacas revestidas com TaCno processamento de semicondutores são os seguintes:

Substrato de crescimento de CVD/ALD: A resistência a altas temperaturas, estabilidade química e baixo coeficiente de atrito das placas revestidas com TaC tornam-nas substratos ideais para crescimento de CVD/ALD. Pode fornecer um ambiente de crescimento estável para garantir a uniformidade e densidade do filme.

Placa de máscara de gravação: A alta dureza e resistência à corrosão das placas revestidas com TaC permitem-lhes resistir a processos de alta energia, como gravação de plasma, como gravação de placas de máscara, protegendo o filme subjacente.

Almofada de polimento CMP: A resistência ao desgaste e o baixo coeficiente de atrito das placas revestidas com TaC as tornam materiais ideais para almofadas de polimento CMP, que podem remover com eficácia partículas e defeitos na superfície do filme.

Tubo de forno de alta temperatura: A resistência a altas temperaturas e a resistência à corrosão das placas revestidas com TaC permitem que elas sejam usadas como tubos de forno em fornos de alta temperatura para recozimento, difusão e outros processos em alta temperatura.

Combinado com as características do produto dePlaca de revestimento TaC, determina que este produto desempenha um papel fundamental insubstituível na melhoria do desempenho do dispositivo, prolongando a vida útil do equipamento e melhorando a eficiência da produção.

Como fabricante profissional deGaN no aceitador SiC epi, Grafite PorosaePlaca de revestimento TaCna China, a VeTek Semiconductor sempre insiste em fornecer serviços de produtos personalizados e está comprometida em fornecer à indústria tecnologia de ponta e soluções de produtos. Esperamos sinceramente sua nova consulta.

Parâmetros técnicos do revestimento CVD TAC：