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China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade do revestimento SiC	3,21g/cm³
Revestimento SiCDureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m^-1·K^-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K^-1

ESTRUTURA DE CRISTAL DO FILME CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi revestido com carboneto de silício Transportador de wafer de revestimento SiC Cobertura de satélite revestida com SiC para MOCVD Susceptor de Epi Wafer de revestimento CVD SiC Elemento de aquecimento de revestimento CVD SiC Porta-wafers Satélite Aixtron Receptor Epi de revestimento SiC Peças de grafite meia-lua com revestimento SiC

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Susceptor Epitaxial GaN à base de silício

O Susceptor GaN Epitaxial à base de silício é o componente principal necessário para a produção de GaN Epitaxial. A VeTek Semiconductor, como fabricante e fornecedor profissional, está comprometida em fornecer susceptor epitaxial GaN à base de silício de alta qualidade. Nosso susceptor epitaxial GaN à base de silício foi projetado para sistemas de reator epitaxial GaN à base de silício e apresenta alta pureza, excelente resistência a altas temperaturas e resistência à corrosão. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos.

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Peça meia-lua de 8 polegadas para reator LPE

VeTek Semiconductor é um fabricante líder de equipamentos semicondutores na China, com foco em P&D e produção de peça meia-lua de 8 polegadas para reator LPE. Acumulamos uma rica experiência ao longo dos anos, especialmente em materiais de revestimento de SiC, e estamos comprometidos em fornecer soluções eficientes sob medida para reatores epitaxiais LPE. Nossa peça meia-lua de 8 polegadas para reator LPE tem excelente desempenho e compatibilidade e é um componente-chave indispensável na fabricação epitaxial. Bem-vindo à sua pergunta para saber mais sobre nossos produtos.

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Susceptor de panqueca revestido de SiC para wafers LPE PE3061S 6''

O susceptor de panqueca revestido de SiC para wafers LPE PE3061S de 6'' é um dos principais componentes usados no processamento de wafer epitaxial de wafers de 6''. A VeTek Semiconductor é atualmente um fabricante e fornecedor líder de susceptor de panqueca revestido de SiC para wafers LPE PE3061S 6'' na China. O Susceptor de Panqueca Revestido com SiC que ele fornece possui excelentes características, como alta resistência à corrosão, boa condutividade térmica e boa uniformidade. Aguardamos sua consulta.

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Suporte revestido de SiC para LPE PE2061S

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor líder de suporte revestido de SiC para LPE PE2061S na China. O suporte revestido de SiC para LPE PE2061S é adequado para reator epitaxial de silício LPE. Como parte inferior da base do cilindro, o suporte revestido de SiC para LPE PE2061S pode suportar altas temperaturas de 1600 graus Celsius, alcançando assim uma vida útil ultralonga do produto e reduzindo os custos do cliente. Aguardamos sua consulta e futuras comunicações.

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Placa superior revestida de SiC para LPE PE2061S

A VeTek Semiconductor está profundamente envolvida em produtos de revestimento de SiC há muitos anos e se tornou um fabricante e fornecedor líder de placa superior revestida de SiC para LPE PE2061S na China. A placa superior revestida com SiC para LPE PE2061S que fornecemos é projetada para reatores epitaxiais de silício LPE e está localizada na parte superior junto com a base do cilindro. Esta placa superior revestida com SiC para LPE PE2061S possui excelentes características como alta pureza, excelente estabilidade térmica e uniformidade, o que ajuda a desenvolver camadas epitaxiais de alta qualidade. Não importa o produto que você precisa, aguardamos sua consulta.

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Susceptor de barril revestido de SiC para LPE PE2061S

Como uma das principais fábricas de susceptores de wafer na China, a VeTek Semiconductor tem feito progresso contínuo em produtos de susceptores de wafer e se tornou a primeira escolha para muitos fabricantes de wafer epitaxiais. O susceptor de barril revestido de SiC para LPE PE2061S fornecido pela VeTek Semiconductor foi projetado para wafers LPE PE2061S de 4''. O susceptor possui um revestimento durável de carboneto de silício que melhora o desempenho e a durabilidade durante o processo LPE (epitaxia em fase líquida). Bem-vindo à sua pergunta, estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de silício avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.