Pedestal de Silício

O susceptor de silício VeTek Semiconductor é um produto de silício puro projetado para garantir a estabilidade da temperatura no tubo do reator térmico durante o processamento do wafer de silício, melhorando assim a eficiência do isolamento térmico. O processamento do wafer de silício é um processo extremamente preciso e a temperatura desempenha um papel crucial, afetando diretamente a espessura e a uniformidade do filme do wafer de silício.

O pedestal de silício está localizado na parte inferior do tubo do reator térmico do forno, suportando o silícioportador de waferao mesmo tempo que fornece isolamento térmico eficaz. No final do processo, ele esfria gradualmente até a temperatura ambiente junto com o suporte do wafer de silício.

Principais funções e benefícios dos pedestais de silício semicondutores VeTek:

Fornece suporte estável para garantir a precisão do processo

O pedestal de silício fornece uma plataforma de suporte estável e altamente resistente ao calor para o barco de silício na câmara do forno de alta temperatura. Esta estabilidade pode efetivamente impedir que o barco de silício se desloque ou incline durante o processamento, evitando assim afetar a uniformidade do fluxo de ar ou destruir a distribuição de temperatura, garantindo alta precisão e consistência do processo.

Melhore a uniformidade da temperatura no forno e melhore a qualidade do wafer

Ao isolar o barco de silício do contato direto com o fundo ou parede do forno, a base de silício pode reduzir a perda de calor causada pela condução, conseguindo assim uma distribuição de temperatura mais uniforme no tubo de reação térmica. Este ambiente térmico uniforme é essencial para alcançar a uniformidade da difusão do wafer e da camada de óxido, melhorando significativamente a qualidade geral do wafer.

Otimize o desempenho do isolamento térmico e reduza o consumo de energia

As excelentes propriedades de isolamento térmico do material à base de silício ajudam a reduzir a perda de calor na câmara do forno, melhorando significativamente a eficiência energética do processo. Este eficiente mecanismo de gestão térmica não só acelera o ciclo de aquecimento e arrefecimento, mas também reduz o consumo de energia e os custos operacionais, proporcionando uma solução mais económica para a fabricação de semicondutores.

Especificações do pedestal de silicone semicondutor VeTek

Oficinas de produção de pedestal de silício da VeTek Semiconductor