Anel de três pétalas revestido com TaC

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional de anel de três pétalas revestido com TaC na China. O anel de três pétalas revestido com TaC é usado no sistema de deposição Aixtron G10 para semicondutor composto, epitaxia de alto rendimento G10-GaN 150/200 mm para potência GaN e RF formulários.

O revestimento VeTek Semiconductor TaC é uma nova geração de material resistente a altas temperaturas, com melhor estabilidade em altas temperaturas do que o SiC, como um revestimento resistente à corrosão, revestimento resistente à oxidação, revestimento resistente ao desgaste, pode ser usado em ambientes acima de 2.000 ℃, amplamente utilizado em peças aeroespaciais de extremidade quente de temperatura ultra-alta, a terceira geração de crescimento de cristal único semicondutor e outros campos.

Características do produto:

1. Alta pureza, teor de impurezas <5ppm

2. Resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, alta densidade, alta densidade

3. É quimicamente inerte à amônia, hidrogênio, silano e silício em alta temperatura e possui boa estabilidade térmica.

4. Resistência ao choque térmico, pode acelerar o ciclo de operação

5. A forte adesão de grafite garante longa vida útil e nenhuma delaminação do revestimento.

6. Tolerâncias dimensionais estritas.

Principais aplicações:

1. Crescimento epitaxial

2. Crescimento de cristal único

3. Desvio de corrosão em alta temperatura

4. Bocal resistente a altas temperaturas e oxidação

5. Pás de turbina a gás

Parâmetro do produto do anel de três pétalas revestido com TaC

Oficina de produção de semicondutores VeTek