Cilindro de grafite CVD SiC

O cilindro de grafite CVD SiC da Vetek Semiconductor é fundamental em equipamentos semicondutores, servindo como um escudo protetor dentro de reatores para proteger componentes internos em configurações de alta temperatura e pressão. Ele protege eficazmente contra produtos químicos e calor extremo, preservando a integridade do equipamento. Com excepcional resistência ao desgaste e à corrosão, garante longevidade e estabilidade em ambientes desafiadores. A utilização dessas coberturas melhora o desempenho do dispositivo semicondutor, prolonga a vida útil e mitiga os requisitos de manutenção e riscos de danos.

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Descrição do produto

O cilindro de grafite CVD SiC da Vetek Semiconductor desempenha um papel importante em equipamentos semicondutores. Geralmente é usado como uma cobertura protetora dentro do reator para fornecer proteção aos componentes internos do reator em ambientes de alta temperatura e alta pressão. Esta capa protetora pode isolar eficazmente os produtos químicos e as altas temperaturas no reator, evitando que causem danos ao equipamento. Ao mesmo tempo, o Cilindro de Grafite CVD SiC também possui excelente resistência ao desgaste e à corrosão, tornando-o capaz de manter a estabilidade e durabilidade a longo prazo em ambientes de trabalho agressivos. Ao utilizar capas protetoras feitas deste material, o desempenho e a confiabilidade dos dispositivos semicondutores podem ser melhorados, prolongando a vida útil do dispositivo e reduzindo as necessidades de manutenção e o risco de danos.

O cilindro de grafite CVD SiC tem uma ampla gama de aplicações em equipamentos semicondutores, incluindo, mas não se limitando aos seguintes aspectos:

Equipamento de tratamento térmico: O cilindro de grafite CVD SiC pode ser usado como capa protetora ou escudo térmico em equipamentos de tratamento térmico para proteger os componentes internos de altas temperaturas, proporcionando excelente resistência a altas temperaturas.

Reator de deposição de vapor químico (CVD): No reator CVD, o cilindro de grafite CVD SiC pode ser usado como uma cobertura protetora para a câmara de reação química, isolando efetivamente a substância de reação e fornecendo resistência à corrosão.

Aplicações em ambientes corrosivos: Devido à sua excelente resistência à corrosão, o Cilindro de Grafite CVD SiC pode ser usado em ambientes quimicamente corroídos, como gases corrosivos ou ambientes líquidos durante a fabricação de semicondutores.

Equipamento de crescimento de semicondutores: Capas protetoras ou outros componentes usados em equipamentos de crescimento de semicondutores para proteger equipamentos contra altas temperaturas, corrosão química e desgaste para garantir a estabilidade do equipamento e confiabilidade a longo prazo.

Estabilidade em altas temperaturas, resistência à corrosão, excelentes propriedades mecânicas, condutividade térmica. Com esse excelente desempenho, ajuda a dissipar o calor de forma mais eficiente em dispositivos semicondutores, mantendo a estabilidade e o desempenho do dispositivo.

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência à Flexão	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1