O que é revestimento CVD TAC?

Como todos sabemos,TaCtem um ponto de fusão de até 3880°C, alta resistência mecânica, dureza, resistência ao choque térmico; boa inércia química e estabilidade térmica à amônia, hidrogênio e vapor contendo silício em altas temperaturas.

Revestimento de carboneto de tântalo em uma seção transversal microscópica

Revestimento CVD TAC, deposição química de vapor (CVD) derevestimento de carboneto de tântalo (TaC), é um processo para formar um revestimento durável e de alta densidade em um substrato (geralmente grafite). Este método envolve a deposição de TaC na superfície do substrato em altas temperaturas, resultando em um revestimento com excelente estabilidade térmica e resistência química.

As principais vantagens dos revestimentos CVD TaC incluem:

Estabilidade térmica extremamente alta: pode suportar temperaturas superiores a 2200°C.

Resistência química: pode resistir com eficácia a produtos químicos agressivos, como hidrogênio, amônia e vapor de silício.

Adesão forte: garante proteção duradoura sem delaminação.

Alta pureza: minimiza as impurezas, tornando-o ideal para aplicações de semicondutores.

Esses revestimentos são particularmente adequados para ambientes que exigem alta durabilidade e resistência a condições extremas, como fabricação de semicondutores e processos industriais de alta temperatura.

Na produção industrial, os materiais de grafite (composto carbono-carbono) revestidos com revestimento de TaC provavelmente substituirão os tradicionais grafite de alta pureza, revestimento de pBN, peças de revestimento de SiC, etc. ser usado como um revestimento antioxidante e anti-ablação em alta temperatura e tem amplas perspectivas de aplicação. No entanto, ainda existem muitos desafios para conseguir a preparação de um revestimento TaC denso, uniforme e sem descamação na superfície do grafite e promover a produção industrial em massa.

Neste processo, explorar o mecanismo de proteção do revestimento, inovar o processo de produção e competir com o topo estrangeiro são cruciais para a terceira geração.crescimento de cristal semicondutor e epitaxia.

VeTek Semiconductor é um fabricante chinês profissional de produtos de revestimento de carboneto de tântalo CVD, comoCadinho de revestimento CVD TaC, Transportador de wafer de revestimento CVD TaC, Transportador de revestimento CVD TaC,Cobertura de revestimento CVD TaC, Anel de revestimento CVD TaC. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer soluções avançadas para diversos produtos de revestimento para a indústria de semicondutores.

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