O que é revestimento CVD TAC?

Como todos sabemos,TaCpossui ponto de fusão de até 3880°C, alta resistência mecânica, dureza, resistência ao choque térmico; boa inércia química e estabilidade térmica à amônia, hidrogênio e vapor contendo silício em altas temperaturas.

Revestimento CVD TAC, deposição química de vapor (CVD) derevestimento de carboneto de tântalo (TaC), é um processo para formar um revestimento durável e de alta densidade em um substrato (geralmente grafite). Este método envolve a deposição de TaC na superfície do substrato em altas temperaturas, resultando em um revestimento com excelente estabilidade térmica e resistência química.

As principais vantagens dos revestimentos CVD TaC incluem:

Estabilidade térmica extremamente alta: pode suportar temperaturas superiores a 2200°C.

Resistência química: pode resistir com eficácia a produtos químicos agressivos, como hidrogênio, amônia e vapor de silício.

Adesão forte: garante proteção duradoura sem delaminação.

Alta pureza: minimiza as impurezas, tornando-o ideal para aplicações de semicondutores.

Esses revestimentos são particularmente adequados para ambientes que exigem alta durabilidade e resistência a condições extremas, como fabricação de semicondutores e processos industriais de alta temperatura.

Na produção industrial, os materiais de grafite (composto carbono-carbono) revestidos com revestimento de TaC provavelmente substituirão os tradicionais grafite de alta pureza, revestimento de pBN, peças de revestimento de SiC, etc. ser usado como um revestimento antioxidante e anti-ablação em alta temperatura e tem amplas perspectivas de aplicação. No entanto, ainda existem muitos desafios para conseguir a preparação de um revestimento TaC denso, uniforme e sem descamação na superfície do grafite e promover a produção industrial em massa.

Nesse processo, explorar o mecanismo de proteção do revestimento, inovar o processo de produção e competir com o nível estrangeiro de ponta são cruciais para o crescimento e a epitaxia do cristal semicondutor de terceira geração.