China Processo de Epitaxia SiC Fabricante, fornecedor, fábrica

Os revestimentos de metal duro exclusivos da VeTek Semiconductor fornecem proteção superior para peças de grafite no processo SiC Epitaxy para o processamento de materiais semicondutores e semicondutores compostos exigentes. O resultado é uma vida útil prolongada do componente de grafite, preservação da estequiometria da reação, inibição da migração de impurezas para aplicações de epitaxia e crescimento de cristais, resultando em maior rendimento e qualidade.

Nossos revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) protegem componentes críticos de fornos e reatores em altas temperaturas (até 2.200°C) contra amônia quente, hidrogênio, vapores de silício e metais fundidos. A VeTek Semiconductor possui uma ampla gama de recursos de processamento e medição de grafite para atender às suas necessidades personalizadas, para que possamos oferecer um revestimento pago ou serviço completo, com nossa equipe de engenheiros especializados prontos para projetar a solução certa para você e sua aplicação específica. .

Cristais semicondutores compostos

A VeTek Semiconductor pode fornecer revestimentos TaC especiais para vários componentes e transportadores. Através do processo de revestimento líder da indústria da VeTek Semiconductor, o revestimento TaC pode obter alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta resistência química, melhorando assim a qualidade do produto das camadas cristal TaC/GaN) e EPl, e estendendo a vida útil dos componentes críticos do reator.

Isoladores térmicos

Componentes de crescimento de cristais SiC, GaN e AlN, incluindo cadinhos, porta-sementes, defletores e filtros. Conjuntos industriais, incluindo elementos de aquecimento resistivos, bicos, anéis de proteção e acessórios de brasagem, componentes de reatores CVD epitaxiais de GaN e SiC, incluindo transportadores de wafer, bandejas de satélite, chuveiros, tampas e pedestais, componentes MOCVD.

Propósito:

Transportador de wafer LED (diodo emissor de luz)

Receptor ALD (semicondutor)

Receptor EPI (Processo Epitaxia SiC)

Susceptor de satélite revestido com TaC Susceptor e anel de revestimento TaC Peças de revestimento TaC Peças Halfmoon com revestimento TaC

Comparação de revestimento SiC e revestimento TaC:

	SiC	TaC
Principais características	Pureza ultra alta, excelente resistência ao plasma	Excelente estabilidade em altas temperaturas (conformidade do processo em altas temperaturas)
Pureza	>99,9999%	>99,9999%
Densidade (g/cm3)	3.21	15
Dureza (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistividade [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Condutividade térmica (W/m-K)	200-360	22
Coeficiente de expansão térmica (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Aplicativo	Gabarito cerâmico de equipamento semicondutor (anel de foco, cabeça de chuveiro, wafer fictício)	Crescimento de cristal único SiC, Epi, peças de equipamentos LED UV

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Aquecedor de revestimento TaC

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de aquecedor de revestimento TaC na China. Este produto tem um ponto de fusão extremamente elevado (cerca de 3880°C). O alto ponto de fusão do aquecedor de revestimento TaC permite que ele opere em temperaturas extremamente altas, especialmente no crescimento de camadas epitaxiais de nitreto de gálio (GaN) no processo de deposição de vapor químico orgânico metálico (MOCVD). A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Mandril revestido com TaC

Como fabricante e fornecedor profissional de mandril revestido com TaC na China, o mandril de revestimento TaC da VeTek Semiconductor é projetado especificamente para fornos de semicondutores. Com sua resistência a altas temperaturas, inércia química e excelente desempenho, a tecnologia inovadora da Vetek Semiconductor fornece uma solução confiável para a indústria de fabricação de semicondutores para garantir padrões de produção de alta qualidade. Acreditamos que nossos produtos podem trazer tecnologia avançada e soluções de produtos de alta qualidade.

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Tubo de revestimento TaC

Como fabricante e fornecedor profissional de tubos de revestimento TaC na China, o tubo de revestimento TaC da VeTek Semiconductor é um componente chave para o crescimento bem-sucedido de monocristais de carboneto de silício. Com sua resistência a altas temperaturas, inércia química e excelente desempenho, garante a produção de cristais de alta qualidade com resultados consistentes. Confie em nossas soluções inovadoras para aprimorar seu processo de crescimento de cristal SiC do método PVT e obter excelentes resultados.

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Revestimento CVD TAC

VeTek Semiconductor é um fabricante líder, inovador e líder de revestimento CVD TAC na China. Por muitos anos, temos nos concentrado em vários produtos de revestimento CVD TAC, como cobertura de revestimento CVD TaC, anel de revestimento CVD TaC, transportador de revestimento CVD TaC, etc. A VeTek Semiconductor oferece suporte a serviços de produtos personalizados e preços de produtos satisfatórios, e aguarda com expectativa o seu futuro consulta.

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Peça sobressalente de revestimento TaC

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional de placa de revestimento TaC e outras peças sobressalentes de revestimento TaC na China. O revestimento TaC é atualmente usado principalmente em processos como crescimento de cristal único de carboneto de silício (método PVT), disco epitaxial (incluindo epitaxia de carboneto de silício, epitaxia LED), etc. Combinado com a boa estabilidade a longo prazo da placa de revestimento TaC, VeTek Semiconductor TaC A placa de revestimento tornou-se referência em peças de reposição para revestimento TaC. Esperamos que você se torne nosso parceiro de longo prazo.

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GaN no aceitador SiC epi

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional de susceptor GaN em SiC epi, revestimento CVD SiC e susceptor de grafite CVD TAC COATING na China. Entre eles, o susceptor GaN no SiC epi desempenha um papel vital no processamento de semicondutores. Através de sua excelente condutividade térmica, capacidade de processamento em alta temperatura e estabilidade química, garante a alta eficiência e qualidade do material do processo de crescimento epitaxial de GaN. Esperamos sinceramente sua nova consulta.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Processo de Epitaxia SiC na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Processo de Epitaxia SiC avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.