China Processo de Epitaxia SiC Fabricante, fornecedor, fábrica

Os revestimentos de metal duro exclusivos da VeTek Semiconductor fornecem proteção superior para peças de grafite no processo SiC Epitaxy para o processamento de materiais semicondutores e semicondutores compostos exigentes. O resultado é uma vida útil prolongada do componente de grafite, preservação da estequiometria da reação, inibição da migração de impurezas para aplicações de epitaxia e crescimento de cristais, resultando em maior rendimento e qualidade.

Nossos revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) protegem componentes críticos de fornos e reatores em altas temperaturas (até 2.200°C) contra amônia quente, hidrogênio, vapores de silício e metais fundidos. A VeTek Semiconductor possui uma ampla gama de recursos de processamento e medição de grafite para atender às suas necessidades personalizadas, para que possamos oferecer um revestimento pago ou serviço completo, com nossa equipe de engenheiros especializados prontos para projetar a solução certa para você e sua aplicação específica. .

Cristais semicondutores compostos

A VeTek Semiconductor pode fornecer revestimentos TaC especiais para vários componentes e transportadores. Através do processo de revestimento líder da indústria da VeTek Semiconductor, o revestimento TaC pode obter alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta resistência química, melhorando assim a qualidade do produto das camadas cristal TaC/GaN) e EPl, e estendendo a vida útil dos componentes críticos do reator.

Isoladores térmicos

Componentes de crescimento de cristais SiC, GaN e AlN, incluindo cadinhos, porta-sementes, defletores e filtros. Conjuntos industriais, incluindo elementos de aquecimento resistivos, bicos, anéis de proteção e acessórios de brasagem, componentes de reatores CVD epitaxiais de GaN e SiC, incluindo transportadores de wafer, bandejas de satélite, chuveiros, tampas e pedestais, componentes MOCVD.

Propósito:

Transportador de wafer LED (diodo emissor de luz)

Receptor ALD (semicondutor)

Receptor EPI (Processo Epitaxia SiC)

Susceptor de satélite revestido com TaC Susceptor e anel de revestimento TaC Peças de revestimento TaC Peças Halfmoon com revestimento TaC

Comparação de revestimento SiC e revestimento TaC:

	SiC	TaC
Principais características	Pureza ultra alta, excelente resistência ao plasma	Excelente estabilidade em altas temperaturas (conformidade do processo em altas temperaturas)
Pureza	>99,9999%	>99,9999%
Densidade (g/cm3)	3.21	15
Dureza (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistividade [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Condutividade térmica (W/m-K)	200-360	22
Coeficiente de expansão térmica (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Aplicativo	Gabarito cerâmico de equipamento semicondutor (anel de foco, cabeça de chuveiro, wafer fictício)	Crescimento de cristal único SiC, Epi, peças de equipamentos LED UV

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Transportador de revestimento CVD TaC

O transportador de revestimento CVD TaC da VeTek Semiconductor é projetado principalmente para o processo epitaxial de fabricação de semicondutores. O ponto de fusão ultra-alto do transportador de revestimento CVD TaC, excelente resistência à corrosão e excelente estabilidade térmica determinam a indispensabilidade deste produto no processo epitaxial de semicondutores. Esperamos sinceramente construir um relacionamento comercial de longo prazo com você.

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Anel guia de revestimento TaC

O anel guia de revestimento TaC da VeTek Semiconductor é criado pela aplicação de revestimento de carboneto de tântalo em peças de grafite usando uma técnica altamente avançada chamada deposição química de vapor (CVD). Este método está bem estabelecido e oferece propriedades de revestimento excepcionais. Ao utilizar o anel guia de revestimento TaC, a vida útil dos componentes de grafite pode ser significativamente estendida, o movimento das impurezas de grafite pode ser suprimido e a qualidade do cristal único SiC e AIN pode ser mantida de forma confiável. Bem-vindo ao nos consultar.

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Susceptor de grafite revestido com TaC

O susceptor de grafite revestido com TaC da VeTek Semiconductor usa o método de deposição química de vapor (CVD) para preparar o revestimento de carboneto de tântalo na superfície das peças de grafite. Este processo é o mais maduro e possui as melhores propriedades de revestimento. O susceptor de grafite revestido com TaC pode prolongar a vida útil dos componentes de grafite, inibir a migração de impurezas de grafite e garantir a qualidade da epitaxia. A VeTek Semiconductor está aguardando sua consulta.

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Susceptor de revestimento TaC

A VeTek Semiconductor apresenta o Susceptor de Revestimento TaC. Com seu excepcional revestimento TaC, este susceptor oferece uma infinidade de vantagens que o diferenciam das soluções convencionais. Integrando-se perfeitamente aos sistemas existentes, o Susceptor de Revestimento TaC da VeTek Semiconductor garante compatibilidade e operação eficiente. Seu desempenho confiável e revestimento TaC de alta qualidade fornecem consistentemente resultados excepcionais em processos de epitaxia de SiC. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.

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Placa de rotação de revestimento TaC

A placa de rotação de revestimento TaC da VeTek Semiconductor possui um excelente revestimento TaC. Com seu revestimento TaC excepcional, a placa de rotação de revestimento TaC possui notável resistência a altas temperaturas e inércia química, que a diferenciam das soluções tradicionais. preços e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.

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Placa de revestimento TaC

A placa de revestimento TaC da VeTek Semiconductor é um produto notável que oferece recursos e vantagens excepcionais. Projetada com precisão e projetada com perfeição, nossa placa de revestimento TaC é especificamente adaptada para várias aplicações em processos de crescimento de cristal único de carboneto de silício (SiC). As dimensões precisas e a construção robusta da placa de revestimento TaC facilitam a integração em sistemas existentes, garantindo compatibilidade perfeita e operação eficiente. Seu desempenho confiável e revestimento de alta qualidade contribuem para resultados consistentes e uniformes em aplicações de crescimento de cristais de SiC. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Processo de Epitaxia SiC na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Processo de Epitaxia SiC avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.