China Processo de Epitaxia SiC Fabricante, fornecedor, fábrica

Os revestimentos de metal duro exclusivos da VeTek Semiconductor fornecem proteção superior para peças de grafite no processo SiC Epitaxy para o processamento de materiais semicondutores e semicondutores compostos exigentes. O resultado é uma vida útil prolongada do componente de grafite, preservação da estequiometria da reação, inibição da migração de impurezas para aplicações de epitaxia e crescimento de cristais, resultando em maior rendimento e qualidade.

Nossos revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) protegem componentes críticos de fornos e reatores em altas temperaturas (até 2.200°C) contra amônia quente, hidrogênio, vapores de silício e metais fundidos. A VeTek Semiconductor possui uma ampla gama de recursos de processamento e medição de grafite para atender às suas necessidades personalizadas, para que possamos oferecer um revestimento pago ou serviço completo, com nossa equipe de engenheiros especializados prontos para projetar a solução certa para você e sua aplicação específica. .

Cristais semicondutores compostos

A VeTek Semiconductor pode fornecer revestimentos TaC especiais para vários componentes e transportadores. Através do processo de revestimento líder da indústria da VeTek Semiconductor, o revestimento TaC pode obter alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta resistência química, melhorando assim a qualidade do produto das camadas cristal TaC/GaN) e EPl, e estendendo a vida útil dos componentes críticos do reator.

Isoladores térmicos

Componentes de crescimento de cristais SiC, GaN e AlN, incluindo cadinhos, porta-sementes, defletores e filtros. Conjuntos industriais, incluindo elementos de aquecimento resistivos, bicos, anéis de proteção e acessórios de brasagem, componentes de reatores CVD epitaxiais de GaN e SiC, incluindo transportadores de wafer, bandejas de satélite, chuveiros, tampas e pedestais, componentes MOCVD.

Propósito:

Transportador de wafer LED (diodo emissor de luz)

Receptor ALD (semicondutor)

Receptor EPI (Processo Epitaxia SiC)

Susceptor de satélite revestido com TaC Susceptor e anel de revestimento TaC Peças de revestimento TaC Peças Halfmoon com revestimento TaC

Comparação de revestimento SiC e revestimento TaC: