China Processo de Epitaxia SiC Fabricante, fornecedor, fábrica

Os revestimentos de metal duro exclusivos da VeTek Semiconductor fornecem proteção superior para peças de grafite no processo SiC Epitaxy para o processamento de materiais semicondutores e semicondutores compostos exigentes. O resultado é uma vida útil prolongada do componente de grafite, preservação da estequiometria da reação, inibição da migração de impurezas para aplicações de epitaxia e crescimento de cristais, resultando em maior rendimento e qualidade.

Nossos revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) protegem componentes críticos de fornos e reatores em altas temperaturas (até 2.200°C) contra amônia quente, hidrogênio, vapores de silício e metais fundidos. A VeTek Semiconductor possui uma ampla gama de recursos de processamento e medição de grafite para atender às suas necessidades personalizadas, para que possamos oferecer um revestimento pago ou serviço completo, com nossa equipe de engenheiros especializados prontos para projetar a solução certa para você e sua aplicação específica. .

Cristais semicondutores compostos

A VeTek Semiconductor pode fornecer revestimentos TaC especiais para vários componentes e transportadores. Através do processo de revestimento líder da indústria da VeTek Semiconductor, o revestimento TaC pode obter alta pureza, estabilidade em alta temperatura e alta resistência química, melhorando assim a qualidade do produto das camadas cristal TaC/GaN) e EPl, e estendendo a vida útil dos componentes críticos do reator.

Isoladores térmicos

Componentes de crescimento de cristais SiC, GaN e AlN, incluindo cadinhos, porta-sementes, defletores e filtros. Conjuntos industriais, incluindo elementos de aquecimento resistivos, bicos, anéis de proteção e acessórios de brasagem, componentes de reatores CVD epitaxiais de GaN e SiC, incluindo transportadores de wafer, bandejas de satélite, chuveiros, tampas e pedestais, componentes MOCVD.

Propósito:

Transportador de wafer LED (diodo emissor de luz)

Receptor ALD (semicondutor)

Receptor EPI (Processo Epitaxia SiC)

Susceptor de satélite revestido com TaC Susceptor e anel de revestimento TaC Peças de revestimento TaC Peças Halfmoon com revestimento TaC

Comparação de revestimento SiC e revestimento TaC:

	SiC	TaC
Principais características	Pureza ultra alta, excelente resistência ao plasma	Excelente estabilidade em altas temperaturas (conformidade do processo em altas temperaturas)
Pureza	>99,9999%	>99,9999%
Densidade (g/cm3)	3.21	15
Dureza (kg/mm 2)	2900-3300	6,7-7,2
Resistividade [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Condutividade térmica (W/m-K)	200-360	22
Coeficiente de expansão térmica (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Aplicativo	Gabarito cerâmico de equipamento semicondutor (anel de foco, cabeça de chuveiro, wafer fictício)	Crescimento de cristal único SiC, Epi, peças de equipamentos LED UV

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Cobertura de revestimento de carboneto de tântalo

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de cobertura de revestimento de carboneto de tântalo na China. Nosso foco é fornecer produtos de carboneto de tântalo de alta pureza e resistentes a altas temperaturas. Nossa cobertura revestida de carboneto de tântalo tem excelente desempenho e confiabilidade e pode proteger efetivamente materiais em temperaturas extremamente altas e ambientes corrosivos. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.

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Anel Defletor Revestido TaC

O anel defletor revestido com TaC da VeTek Semiconductor é um componente altamente especializado projetado para processos de crescimento de cristal de SiC. O revestimento TaC oferece excelente resistência a altas temperaturas e inércia química para lidar com altas temperaturas e ambientes corrosivos durante o processo de crescimento de cristais. Isso garante desempenho estável e longa vida útil do componente, reduzindo a frequência de substituição e o tempo de inatividade. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.

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Anel revestido de TaC para reator epitaxial de SiC

VeTek Semiconductor é um fabricante e inovador de anel revestido TaC em grande escala para reator epitaxial SiC na China. Somos especializados em revestimento TaC há muitos anos. ansioso para se tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Peça de meia lua revestida de carboneto de tântalo para LPE

VeTek Semiconductor é uma peça Halfmoon revestida com carboneto de tântalo em grande escala para fabricante e inovador de LPE na China. Somos especializados em revestimento TaC há muitos anos. para se tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Disco de rotação planetária revestido de carboneto de tântalo

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de disco de rotação planetária revestido de carboneto de tântalo na China. Somos especializados em revestimento cerâmico há muitos anos. China.

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