China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

View as

Parte superior do coletor de revestimento SiC

Bem-vindo à VeTek Semiconductor, seu fabricante confiável de revestimentos CVD SiC. Temos orgulho em oferecer o Aixtron SiC Coating Collector Top, que é habilmente projetado usando grafite de alta pureza e apresenta um revestimento CVD SiC de última geração com impureza abaixo de 5 ppm. Não hesite em entrar em contato conosco caso tenha alguma dúvida ou consulta

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Parte inferior do coletor de revestimento SiC

Com nossa experiência na fabricação de revestimento CVD SiC, a VeTek Semiconductor orgulhosamente apresenta o Aixtron SiC Coating Collector Bottom. Este fundo coletor de revestimento de SiC é construído com grafite de alta pureza e revestido com SiC CVD, garantindo impureza abaixo de 5 ppm. Sinta-se à vontade para entrar em contato conosco para obter mais informações e dúvidas.

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Segmentos de cobertura de revestimento SiC internos

Na VeTek Semiconductor, nos especializamos em pesquisa, desenvolvimento e industrialização de revestimento CVD SiC e revestimento CVD TaC. Um produto exemplar é o SiC Coating Cover Segments Inner, que passa por um processamento extensivo para obter uma superfície de SiC CVD altamente precisa e densamente revestida. Este revestimento demonstra excepcional resistência a altas temperaturas e fornece proteção robusta contra corrosão. Sinta-se à vontade para nos contatar para qualquer dúvida.

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Segmentos de cobertura de revestimento SiC

A Vetek Semiconductor dedica-se ao avanço e comercialização de revestimento CVD SiC e revestimento CVD TaC. A título de ilustração, nossos segmentos de cobertura de revestimento de SiC passam por um processamento meticuloso, resultando em um revestimento CVD SiC denso com precisão excepcional. Apresenta notável resistência a altas temperaturas e oferece proteção robusta contra corrosão. Congratulamo-nos com suas perguntas.

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Aceitador MOCVD

A Vetek Semiconductor concentra-se na pesquisa, desenvolvimento e industrialização de revestimento CVD SiC e revestimento CVD TaC. Tomando o Susceptor MOCVD como exemplo, o produto é altamente processado com alta precisão, revestimento CVD SIC denso, resistência a altas temperaturas e forte resistência à corrosão. Uma investigação sobre nós é bem-vinda.

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Anel de pré-aquecimento

VeTek Semiconductor é um fabricante inovador de revestimento de SiC na China. O anel de pré-aquecimento fornecido pela VeTek Semiconductor é projetado para o processo Epitaxy. O revestimento uniforme de carboneto de silício e o material de grafite de alta qualidade como matéria-prima garantem uma deposição consistente e melhoram a qualidade e uniformidade da camada epitaxial.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de silício avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.