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China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.


Peças do reator que podemos fazer:

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor


Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages


Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade Valor típico
Estrutura Cristalina FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade 3,21g/cm³
Dureza Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão 2~10μm
Pureza Química 99,99995%
Capacidade de calor 640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação 2700°C
Resistência Flexural 415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica 300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE) 4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films


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A VeTek Semiconductor tem muitos anos de experiência na produção de defletores de cadinho de grafite revestidos com SiC de alta qualidade. Temos laboratório próprio para pesquisa e desenvolvimento de materiais, podemos apoiar seus projetos personalizados com qualidade superior. convidamos você a visitar nossa fábrica para mais discussões.

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VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional que se dedica a fornecer susceptor epitaxial MOCVD de alta qualidade para wafer de 4". Com rica experiência no setor e uma equipe profissional, somos capazes de fornecer soluções especializadas e eficientes aos nossos clientes.

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VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional, dedicado a fornecer susceptor de grafite epitaxial GaN de alta qualidade para G5. estabelecemos parcerias estáveis ​​e de longo prazo com inúmeras empresas conhecidas no país e no exterior, conquistando a confiança e o respeito de nossos clientes.

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Bloco susceptor semicondutor revestido com SiC

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O bloco susceptor semicondutor da VeTek Semiconductor revestido com SiC é um dispositivo altamente confiável e durável. Ele foi projetado para suportar altas temperaturas e ambientes químicos agressivos, mantendo um desempenho estável e uma longa vida útil. Com suas excelentes capacidades de processo, o Bloco Susceptor Semicondutor Revestido com SiC reduz a frequência de substituição e manutenção, melhorando assim a eficiência da produção. Estamos ansiosos pela oportunidade de colaborar com você.

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Susceptor MOCVD revestido de SiC

Susceptor MOCVD revestido de SiC

O susceptor MOCVD revestido com SiC da VeTek Semiconductor é um dispositivo com excelente processo, durabilidade e confiabilidade. Eles podem suportar ambientes químicos e de alta temperatura, manter desempenho estável e longa vida útil, reduzindo assim a frequência de substituição e manutenção e melhorando a eficiência da produção. Nosso susceptor epitaxial MOCVD é conhecido por sua alta densidade, excelente planicidade e excelente controle térmico, tornando-o o equipamento preferido em ambientes de fabricação severos. Ansioso para cooperar com você.

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