China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Susceptor de barril de grafite revestido de SiC para EPI

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Defletor de cadinho de grafite revestido de SiC

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Susceptor Epitaxial MOCVD para Wafer de 4"

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor profissional que se dedica a fornecer susceptor epitaxial MOCVD de alta qualidade para wafer de 4". Com rica experiência no setor e uma equipe profissional, somos capazes de fornecer soluções especializadas e eficientes aos nossos clientes.

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Bloco susceptor semicondutor revestido com SiC

O bloco susceptor semicondutor da VeTek Semiconductor revestido com SiC é um dispositivo altamente confiável e durável. Ele foi projetado para suportar altas temperaturas e ambientes químicos agressivos, mantendo um desempenho estável e uma longa vida útil. Com suas excelentes capacidades de processo, o Bloco Susceptor Semicondutor Revestido com SiC reduz a frequência de substituição e manutenção, melhorando assim a eficiência da produção. Estamos ansiosos pela oportunidade de colaborar com você.

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Susceptor MOCVD revestido de SiC

O susceptor MOCVD revestido com SiC da VeTek Semiconductor é um dispositivo com excelente processo, durabilidade e confiabilidade. Eles podem suportar ambientes químicos e de alta temperatura, manter desempenho estável e longa vida útil, reduzindo assim a frequência de substituição e manutenção e melhorando a eficiência da produção. Nosso susceptor epitaxial MOCVD é conhecido por sua alta densidade, excelente planicidade e excelente controle térmico, tornando-o o equipamento preferido em ambientes de fabricação severos. Ansioso para cooperar com você.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de silício avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.