China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Bloco CVD SiC para crescimento de cristais de SiC

A VeTek Semiconductor concentra-se na pesquisa, desenvolvimento e industrialização de fontes a granel CVD-SiC, revestimentos CVD SiC e revestimentos CVD TaC. Tomando como exemplo o bloco CVD SiC para SiC Crystal Growth, a tecnologia de processamento do produto é avançada, a taxa de crescimento é rápida, a resistência a altas temperaturas e a resistência à corrosão são fortes. Bem-vindo a perguntar.

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Nova tecnologia de crescimento de cristal SiC

O carboneto de silício (SiC) de ultra-alta pureza da Vetek Semiconductor formado por deposição química de vapor (CVD) pode ser usado como material de origem para o crescimento de cristais de carboneto de silício por transporte físico de vapor (PVT). Na nova tecnologia SiC Crystal Growth, o material de origem é carregado em um cadinho e sublimado em um cristal semente. Use os blocos CVD-SiC descartados para reciclar o material como fonte para o cultivo de cristais de SiC. Bem-vindo a estabelecer uma parceria conosco.

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Cabeça de chuveiro SiC CVD

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de chuveiro CVD SiC na China. Somos especializados em material SiC há muitos anos. erosão plasmática. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Cabeça de chuveiro SiC

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de chuveiro de SiC na China. Somos especializados em material de SiC há muitos anos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Disco de conjunto de revestimento SiC

A VeTek Semiconductor, fabricante líder de revestimentos CVD SiC, oferece disco de conjunto de revestimento SiC em reatores Aixtron MOCVD. Estes discos de conjunto de revestimento de SiC são fabricados com grafite de alta pureza e apresentam um revestimento CVD SiC com impureza abaixo de 5 ppm. Agradecemos perguntas sobre este produto.

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Centro Coletor de Revestimento SiC

A VeTek Semiconductor, um fabricante respeitável de revestimento CVD SiC, traz para você o centro coletor de revestimento SiC de última geração no sistema Aixtron G5 MOCVD. Estes Centros Coletores de Revestimento SiC são meticulosamente projetados com grafite de alta pureza e possuem um revestimento CVD SiC avançado, garantindo estabilidade em altas temperaturas, resistência à corrosão e alta pureza.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de silício avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.