China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Transportador de wafer de revestimento SiC

Como fabricante e fornecedor profissional de transportadores de wafer de revestimento de SiC na China, os transportadores de wafer de revestimento de SiC da Vetek Semiconductor são usados principalmente para melhorar a uniformidade de crescimento da camada epitaxial, garantindo sua estabilidade e integridade em ambientes corrosivos e de alta temperatura. Aguardamos sua consulta.

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Receptor ALD

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional de ALD Susceptor, revestimento CVD SiC, base de grafite CVD TAC COATING na China. A Vetek Semiconductor desenvolveu e produziu em conjunto bases planetárias ALD revestidas de SiC com fabricantes de sistemas ALD para atender aos altos requisitos do processo ALD e distribuir uniformemente o fluxo de ar no substrato. Estamos ansiosos para uma maior cooperação com você.

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Teto revestido CVD SiC

Como fabricante e fornecedor profissional de teto revestido de SiC CVD na China, o teto revestido de SiC CVD da VeTek Semiconductor tem excelentes propriedades, como resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão, alta dureza e baixo coeficiente de expansão térmica, tornando-o uma escolha de material ideal na fabricação de semicondutores. Estamos ansiosos para uma maior cooperação com você.

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Susceptor de Epi LED MOCVD

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional de susceptor MOCVD LED Epi, susceptor planetário ALD, susceptor de grafite revestido com TaC na China. O Epi Susceptor LED MOCVD da VeTek Semiconductor foi projetado para aplicações exigentes de equipamentos epitaxiais. Sua alta condutividade térmica, estabilidade química e durabilidade são fatores-chave para garantir um processo de crescimento epitaxial estável e produção de filme semicondutor de alta qualidade. Estamos ansiosos para uma maior cooperação com você.

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Susceptor ALD de revestimento SiC

Como fabricante e fornecedor profissional de susceptor ALD de revestimento de SiC na China, o susceptor ALD de revestimento de SiC da VeTek Semiconductor é um componente de suporte usado especificamente no processo de deposição de camada atômica (ALD). Desempenha um papel fundamental nos equipamentos ALD, garantindo a uniformidade e precisão do processo de deposição. Acreditamos que nossos produtos ALD Planetary Susceptor podem oferecer soluções de produtos de alta qualidade.

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Receptor Epi de revestimento SiC

VeTek Semiconductor é um fabricante líder, inovador e líder de produtos Epi Susceptor de Revestimento SiC na China. Por muitos anos, temos nos concentrado em vários produtos de revestimento de SiC, como Epi Susceptor de revestimento de SiC, transportador de wafer de revestimento de SiC, susceptor de revestimento de SiC, susceptor ALD de revestimento de SiC, etc. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para o semicondutor indústria. Bem-vindo a sua consulta adicional.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de silício avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.