China Revestimento de carboneto de silício Fabricante, fornecedor, fábrica

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade	3,21g/cm³
Dureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg-1·K-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m-1·K-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Pino de levantamento de wafer

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de pinos de elevação de wafer EPI na China. Somos especializados em revestimento de SiC na superfície de grafite há muitos anos. Oferecemos um pino de levantamento de wafer EPI para processo Epi. Com alta qualidade e preço competitivo, convidamos você a visitar nossa fábrica na China.

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Susceptor de barril revestido de SiC

A VeTek Semiconductor oferece um conjunto abrangente de soluções de componentes para câmaras de reação epitaxia de silício LPE, proporcionando longa vida útil, qualidade estável e melhor rendimento da camada epitaxial. Nosso produto, como o Susceptor de Barril Revestido de SiC, recebeu feedback de posição dos clientes. Também fornecemos suporte técnico para Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy e muito mais. Sinta-se à vontade para solicitar informações sobre preços.

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Se o receptor EPI

VeTek Semiconductor é uma fábrica que combina usinagem de precisão e recursos de revestimento de semicondutores SiC e TaC. O Si Epi Susceptor tipo barril fornece recursos de controle de temperatura e atmosfera, aumentando a eficiência da produção em processos de crescimento epitaxial de semicondutores.

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Receptor Epi revestido com SiC

Como principal fabricante nacional de revestimentos de carboneto de silício e carboneto de tântalo, a VeTek Semiconductor é capaz de fornecer usinagem de precisão e revestimento uniforme de Epi Susceptor revestido com SiC, controlando efetivamente a pureza do revestimento e do produto abaixo de 5 ppm. A vida útil do produto é comparável à do SGL. Bem-vindo para nos perguntar.

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Conjunto de receptores LPE SI EPI

VeTek Semiconductor é um fabricante líder de conjunto de susceptor LPE Si Epi e inovador na China. Somos especializados em revestimento SiC e revestimento TaC por muitos anos. Oferecemos um conjunto LPE Si Epi Susceptor projetado especificamente para wafers LPE PE2061S 4''. O grau de correspondência do material de grafite e do revestimento de SiC é bom, a uniformidade é excelente e a vida útil é longa, o que pode melhorar o rendimento do crescimento da camada epitaxial durante o processo LPE (Epitaxia de Fase Líquida). China.

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Susceptores MOCVD Aixtron G5

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de susceptores Aixtron G5 MOCVD na China. Somos especializados em material de revestimento SiC há muitos anos. Oferecemos susceptores Aixtron G5 MOCVD projetados especificamente para o reator Aixtron G5 MOCVD. Este kit de susceptores Aixtron G5 MOCVD é uma solução versátil e eficiente para a fabricação de semicondutores com seu tamanho ideal, compatibilidade e alta produtividade.

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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de silício avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.