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China Revestimento de carboneto de tântalo Fabricante, fornecedor, fábrica
A VeTek semiconductor é fabricante líder de materiais de revestimento de carboneto de tântalo para a indústria de semicondutores. Nossas principais ofertas de produtos incluem peças de revestimento de carboneto de tântalo CVD, peças de revestimento TaC sinterizadas para crescimento de cristal SiC ou processo de epitaxia semicondutor. Aprovado pela ISO9001, a VeTek Semiconductor tem um bom controle de qualidade. A VeTek Semiconductor se dedica a se tornar inovadora na indústria de revestimento de carboneto de tântalo por meio de pesquisa e desenvolvimento contínuos de tecnologias iterativas.
Os principais produtos sãoAnel defeituoso com revestimento de carboneto de tântalo, anel de desvio revestido com TaC, peças em meia-lua revestidas com TaC, disco de rotação planetária revestido com carboneto de tântalo (Aixtron G10), cadinho revestido com TaC; Anéis revestidos com TaC; Grafite Porosa Revestida com TaC; Susceptor de grafite com revestimento de carboneto de tântalo; Anel guia revestido com TaC; Placa revestida de carboneto de tântalo TaC; Susceptor de Wafer Revestido com TaC; Anel de Revestimento TaC; Cobertura de grafite com revestimento TaC; Pedaço revestido com TaCetc., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.
O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).
O revestimento de carboneto de tântalo (TaC) tem ganhado atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880°C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando-o uma alternativa atraente para compostos de processos de epitaxia de semicondutores com requisitos de temperatura mais elevados, como o sistema Aixtron MOCVD e o processo de epitaxia LPE SiC. Ele também tem uma ampla aplicação no processo de crescimento de cristal SiC do método PVT.
Principais recursos:
●Estabilidade de temperatura
●Pureza ultra-alta
●Resistência a H2, NH3, SiH4,Si
●Resistência ao estoque térmico
●Forte adesão ao grafite
●Cobertura de revestimento isolante
● Tamanho de até 750 mm de diâmetro (o único fabricante na China atinge esse tamanho)
Aplicativos:
● Susceptor de aquecimento indutivo
● Elemento de aquecimento resistivo
● Escudo térmico
Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica:
Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo semicondutor VeTek:
| Propriedades físicas do revestimento TaC | |
| Densidade | 14,3 (g/cm³) |
| Emissividade específica | 0.3 |
| Coeficiente de expansão térmica | 6,3 10-6/K |
| Dureza (HK) | 2.000 Hong Kong |
| Resistência | 1x10-5Ohm*cm |
| Estabilidade térmica | <2500℃ |
| Mudanças no tamanho do grafite | -10~-20um |
| Espessura do revestimento | ≥20um valor típico (35um±10um) |
Dados EDX de revestimento TaC：
Dados da estrutura cristalina do revestimento TaC:
| Elemento | Porcentagem atômica | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Média | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Eles | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Anel revestido de carboneto de tântalo
Como inovador profissional e líder de produtos de anel revestido de carboneto de tântalo na China, o anel revestido de carboneto de tântalo semicondutor VeTek desempenha um papel insubstituível no crescimento do cristal SiC com sua excelente resistência a altas temperaturas, resistência ao desgaste e excelente condutividade térmica. Bem-vindo a sua consulta adicional.
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Carboneto de tântalo poroso
VeTek Semiconductor é um fabricante profissional e líder de produtos de carboneto de tântalo poroso na China. O carboneto de tântalo poroso é geralmente fabricado pelo método de deposição química de vapor (CVD), garantindo controle preciso do tamanho e distribuição de seus poros, e é uma ferramenta de material dedicada a ambientes extremos de alta temperatura. Bem-vindo a sua consulta adicional.
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Anel de carboneto de tântalo
Como um fabricante e produtor avançado de produtos de anel de carboneto de tântalo na China, o anel de carboneto de tântalo VeTek Semiconductor tem dureza extremamente alta, resistência ao desgaste, resistência a altas temperaturas e estabilidade química, e é amplamente utilizado no campo de fabricação de semicondutores. Especialmente em CVD, PVD, processo de implantação iônica, processo de gravação e processamento e transporte de wafer, é um produto indispensável para processamento e fabricação de semicondutores. Aguardamos sua consulta adicional.
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Suporte para revestimento de carboneto de tântalo
Como fabricante e fábrica profissional de produtos de suporte para revestimento de carboneto de tântalo na China, o Suporte para revestimento de carboneto de tântalo VeTek Semiconductor é geralmente usado para revestimento de superfície de componentes estruturais ou componentes de suporte em equipamentos semicondutores, especialmente para proteção de superfície de componentes-chave de equipamentos em processos de fabricação de semicondutores, como DCV e PVD. Bem-vindo a sua consulta adicional.
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Anel guia de carboneto de tântalo
VeTek Semiconductor é um fabricante profissional e líder de produtos de anel guia de carboneto de tântalo na China. Nosso anel guia de carboneto de tântalo (TaC) é um componente de anel de alto desempenho feito de carboneto de tântalo, que é comumente usado em equipamentos de processamento de semicondutores, especialmente em ambientes de alta temperatura e altamente corrosivos, como CVD, PVD, gravação e difusão. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores e agradece suas dúvidas.
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Susceptor de rotação de revestimento TaC
Como fabricante profissional, inovador e líder de produtos Susceptores de Rotação de Revestimento TaC na China. O susceptor de rotação de revestimento VeTek Semiconductor TaC é geralmente instalado em equipamentos de deposição química de vapor (CVD) e epitaxia por feixe molecular (MBE) para suportar e girar wafers para garantir deposição uniforme de material e reação eficiente. É um componente chave no processamento de semicondutores. Bem-vindo a sua consulta adicional.
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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de tântalo na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de tântalo avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.
