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China Revestimento de carboneto de tântalo Fabricante, fornecedor, fábrica
A VeTek semiconductor é fabricante líder de materiais de revestimento de carboneto de tântalo para a indústria de semicondutores. Nossas principais ofertas de produtos incluem peças de revestimento de carboneto de tântalo CVD, peças de revestimento TaC sinterizadas para crescimento de cristal SiC ou processo de epitaxia semicondutor. Aprovado pela ISO9001, a VeTek Semiconductor tem um bom controle de qualidade. A VeTek Semiconductor se dedica a se tornar inovadora na indústria de revestimento de carboneto de tântalo por meio de pesquisa e desenvolvimento contínuos de tecnologias iterativas.
Os principais produtos sãoAnel defeituoso com revestimento de carboneto de tântalo, anel de desvio revestido com TaC, peças em meia-lua revestidas com TaC, disco de rotação planetária revestido com carboneto de tântalo (Aixtron G10), cadinho revestido com TaC; Anéis revestidos com TaC; Grafite Porosa Revestida com TaC; Susceptor de grafite com revestimento de carboneto de tântalo; Anel guia revestido com TaC; Placa revestida de carboneto de tântalo TaC; Susceptor de Wafer Revestido com TaC; Anel de Revestimento TaC; Cobertura de grafite com revestimento TaC; Pedaço revestido com TaCetc., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.
O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).
O revestimento de carboneto de tântalo (TaC) tem ganhado atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880°C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando-o uma alternativa atraente para compostos de processos de epitaxia de semicondutores com requisitos de temperatura mais elevados, como o sistema Aixtron MOCVD e o processo de epitaxia LPE SiC. Ele também tem uma ampla aplicação no processo de crescimento de cristal SiC do método PVT.
Principais recursos:
●Estabilidade de temperatura
●Pureza ultra-alta
●Resistência a H2, NH3, SiH4,Si
●Resistência ao estoque térmico
●Forte adesão ao grafite
●Cobertura de revestimento isolante
● Tamanho de até 750 mm de diâmetro (o único fabricante na China atinge esse tamanho)
Aplicativos:
● Susceptor de aquecimento indutivo
● Elemento de aquecimento resistivo
● Escudo térmico
Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica:
Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo semicondutor VeTek:
| Propriedades físicas do revestimento TaC | |
| Densidade | 14,3 (g/cm³) |
| Emissividade específica | 0.3 |
| Coeficiente de expansão térmica | 6,3 10-6/K |
| Dureza (HK) | 2.000 Hong Kong |
| Resistência | 1x10-5Ohm*cm |
| Estabilidade térmica | <2500℃ |
| Mudanças no tamanho do grafite | -10~-20um |
| Espessura do revestimento | ≥20um valor típico (35um±10um) |
Dados EDX de revestimento TaC：
Dados da estrutura cristalina do revestimento TaC:
| Elemento | Porcentagem atômica | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Média | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Eles | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Cadinho de revestimento CVD TaC
VeTek Semiconductor é um fabricante profissional e líder de produtos de cadinho de revestimento CVD TaC na China. O cadinho de revestimento CVD TaC é baseado em revestimento de carbono de tântalo (TaC). O revestimento de carbono de tântalo é coberto uniformemente na superfície do cadinho através do processo de deposição química de vapor (CVD) para aumentar sua resistência ao calor e à corrosão. É uma ferramenta material especialmente utilizada em ambientes extremos de alta temperatura. Bem-vindo a sua consulta adicional.
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Transportador de wafer de revestimento CVD TaC
Como fabricante e fábrica profissional de produto transportador de wafer de revestimento CVD TaC na China, o transportador de wafer de revestimento CVD TaC VeTek Semiconductor é uma ferramenta de transporte de wafer especialmente projetada para ambientes corrosivos e de alta temperatura na fabricação de semicondutores. e CVD TaC Coating Wafer Carrier possui alta resistência mecânica, excelente resistência à corrosão e estabilidade térmica, fornecendo a garantia necessária para a fabricação de dispositivos semicondutores de alta qualidade. Suas perguntas adicionais são bem-vindas.
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Aquecedor de revestimento TaC
VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de aquecedor de revestimento TaC na China. Este produto tem um ponto de fusão extremamente elevado (cerca de 3880°C). O alto ponto de fusão do aquecedor de revestimento TaC permite que ele opere em temperaturas extremamente altas, especialmente no crescimento de camadas epitaxiais de nitreto de gálio (GaN) no processo de deposição de vapor químico orgânico metálico (MOCVD). A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.
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Mandril revestido com TaC
Como fabricante e fornecedor profissional de mandril revestido com TaC na China, o mandril de revestimento TaC da VeTek Semiconductor é projetado especificamente para fornos de semicondutores. Com sua resistência a altas temperaturas, inércia química e excelente desempenho, a tecnologia inovadora da Vetek Semiconductor fornece uma solução confiável para a indústria de fabricação de semicondutores para garantir padrões de produção de alta qualidade. Acreditamos que nossos produtos podem trazer tecnologia avançada e soluções de produtos de alta qualidade.
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Tubo de revestimento TaC
Como fabricante e fornecedor profissional de tubos de revestimento TaC na China, o tubo de revestimento TaC da VeTek Semiconductor é um componente chave para o crescimento bem-sucedido de monocristais de carboneto de silício. Com sua resistência a altas temperaturas, inércia química e excelente desempenho, garante a produção de cristais de alta qualidade com resultados consistentes. Confie em nossas soluções inovadoras para aprimorar seu processo de crescimento de cristal SiC do método PVT e obter excelentes resultados.
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Revestimento CVD TAC
VeTek Semiconductor é um fabricante líder, inovador e líder de revestimento CVD TAC na China. Por muitos anos, temos nos concentrado em vários produtos de revestimento CVD TAC, como cobertura de revestimento CVD TaC, anel de revestimento CVD TaC, transportador de revestimento CVD TaC, etc. A VeTek Semiconductor oferece suporte a serviços de produtos personalizados e preços de produtos satisfatórios, e aguarda com expectativa o seu futuro consulta.
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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de tântalo na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de tântalo avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.
