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China Revestimento de carboneto de tântalo Fabricante, fornecedor, fábrica
A VeTek semiconductor é fabricante líder de materiais de revestimento de carboneto de tântalo para a indústria de semicondutores. Nossas principais ofertas de produtos incluem peças de revestimento de carboneto de tântalo CVD, peças de revestimento TaC sinterizadas para crescimento de cristal SiC ou processo de epitaxia semicondutor. Aprovado pela ISO9001, a VeTek Semiconductor tem um bom controle de qualidade. A VeTek Semiconductor se dedica a se tornar inovadora na indústria de revestimento de carboneto de tântalo por meio de pesquisa e desenvolvimento contínuos de tecnologias iterativas.
Os principais produtos sãoAnel defeituoso com revestimento de carboneto de tântalo, anel de desvio revestido com TaC, peças em meia-lua revestidas com TaC, disco de rotação planetária revestido com carboneto de tântalo (Aixtron G10), cadinho revestido com TaC; Anéis revestidos com TaC; Grafite Porosa Revestida com TaC; Susceptor de grafite com revestimento de carboneto de tântalo; Anel guia revestido com TaC; Placa revestida de carboneto de tântalo TaC; Susceptor de Wafer Revestido com TaC; Anel de Revestimento TaC; Cobertura de grafite com revestimento TaC; Pedaço revestido com TaCetc., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.
O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).
O revestimento de carboneto de tântalo (TaC) tem ganhado atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880°C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando-o uma alternativa atraente para compostos de processos de epitaxia de semicondutores com requisitos de temperatura mais elevados, como o sistema Aixtron MOCVD e o processo de epitaxia LPE SiC. Ele também tem uma ampla aplicação no processo de crescimento de cristal SiC do método PVT.
Principais recursos:
●Estabilidade de temperatura
●Pureza ultra-alta
●Resistência a H2, NH3, SiH4,Si
●Resistência ao estoque térmico
●Forte adesão ao grafite
●Cobertura de revestimento isolante
● Tamanho de até 750 mm de diâmetro (o único fabricante na China atinge esse tamanho)
Aplicativos:
● Susceptor de aquecimento indutivo
● Elemento de aquecimento resistivo
● Escudo térmico
Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica:
Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo semicondutor VeTek:
| Propriedades físicas do revestimento TaC | |
| Densidade | 14,3 (g/cm³) |
| Emissividade específica | 0.3 |
| Coeficiente de expansão térmica | 6,3 10-6/K |
| Dureza (HK) | 2.000 Hong Kong |
| Resistência | 1x10-5Ohm*cm |
| Estabilidade térmica | <2500℃ |
| Mudanças no tamanho do grafite | -10~-20um |
| Espessura do revestimento | ≥20um valor típico (35um±10um) |
Dados EDX de revestimento TaC：
Dados da estrutura cristalina do revestimento TaC:
| Elemento | Porcentagem atômica | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Média | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Eles | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Peça sobressalente de revestimento TaC
VeTek Semiconductor é um fabricante profissional de placa de revestimento TaC e outras peças sobressalentes de revestimento TaC na China. O revestimento TaC é atualmente usado principalmente em processos como crescimento de cristal único de carboneto de silício (método PVT), disco epitaxial (incluindo epitaxia de carboneto de silício, epitaxia LED), etc. Combinado com a boa estabilidade a longo prazo da placa de revestimento TaC, VeTek Semiconductor TaC A placa de revestimento tornou-se referência em peças de reposição para revestimento TaC. Esperamos que você se torne nosso parceiro de longo prazo.
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GaN no aceitador SiC epi
VeTek Semiconductor é um fabricante profissional de susceptor GaN em SiC epi, revestimento CVD SiC e susceptor de grafite CVD TAC COATING na China. Entre eles, o susceptor GaN no SiC epi desempenha um papel vital no processamento de semicondutores. Através de sua excelente condutividade térmica, capacidade de processamento em alta temperatura e estabilidade química, garante a alta eficiência e qualidade do material do processo de crescimento epitaxial de GaN. Esperamos sinceramente sua nova consulta.
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Transportador de revestimento CVD TaC
O transportador de revestimento CVD TaC da VeTek Semiconductor é projetado principalmente para o processo epitaxial de fabricação de semicondutores. O ponto de fusão ultra-alto do transportador de revestimento CVD TaC, excelente resistência à corrosão e excelente estabilidade térmica determinam a indispensabilidade deste produto no processo epitaxial de semicondutores. Esperamos sinceramente construir um relacionamento comercial de longo prazo com você.
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Anel guia de revestimento TaC
O anel guia de revestimento TaC da VeTek Semiconductor é criado pela aplicação de revestimento de carboneto de tântalo em peças de grafite usando uma técnica altamente avançada chamada deposição química de vapor (CVD). Este método está bem estabelecido e oferece propriedades de revestimento excepcionais. Ao utilizar o anel guia de revestimento TaC, a vida útil dos componentes de grafite pode ser significativamente estendida, o movimento das impurezas de grafite pode ser suprimido e a qualidade do cristal único SiC e AIN pode ser mantida de forma confiável. Bem-vindo ao nos consultar.
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Susceptor de grafite revestido com TaC
O susceptor de grafite revestido com TaC da VeTek Semiconductor usa o método de deposição química de vapor (CVD) para preparar o revestimento de carboneto de tântalo na superfície das peças de grafite. Este processo é o mais maduro e possui as melhores propriedades de revestimento. O susceptor de grafite revestido com TaC pode prolongar a vida útil dos componentes de grafite, inibir a migração de impurezas de grafite e garantir a qualidade da epitaxia. A VeTek Semiconductor está aguardando sua consulta.
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Susceptor de revestimento TaC
A VeTek Semiconductor apresenta o Susceptor de Revestimento TaC. Com seu excepcional revestimento TaC, este susceptor oferece uma infinidade de vantagens que o diferenciam das soluções convencionais. Integrando-se perfeitamente aos sistemas existentes, o Susceptor de Revestimento TaC da VeTek Semiconductor garante compatibilidade e operação eficiente. Seu desempenho confiável e revestimento TaC de alta qualidade fornecem consistentemente resultados excepcionais em processos de epitaxia de SiC. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.
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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de tântalo na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de tântalo avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.
