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China Revestimento de carboneto de tântalo Fabricante, fornecedor, fábrica
A VeTek semiconductor é fabricante líder de materiais de revestimento de carboneto de tântalo para a indústria de semicondutores. Nossas principais ofertas de produtos incluem peças de revestimento de carboneto de tântalo CVD, peças de revestimento TaC sinterizadas para crescimento de cristal SiC ou processo de epitaxia semicondutor. Aprovado pela ISO9001, a VeTek Semiconductor tem um bom controle de qualidade. A VeTek Semiconductor se dedica a se tornar inovadora na indústria de revestimento de carboneto de tântalo por meio de pesquisa e desenvolvimento contínuos de tecnologias iterativas.
Os principais produtos sãoAnel defeituoso com revestimento de carboneto de tântalo, anel de desvio revestido com TaC, peças em meia-lua revestidas com TaC, disco de rotação planetária revestido com carboneto de tântalo (Aixtron G10), cadinho revestido com TaC; Anéis revestidos com TaC; Grafite Porosa Revestida com TaC; Susceptor de grafite com revestimento de carboneto de tântalo; Anel guia revestido com TaC; Placa revestida de carboneto de tântalo TaC; Susceptor de Wafer Revestido com TaC; Anel de Revestimento TaC; Cobertura de grafite com revestimento TaC; Pedaço revestido com TaCetc., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.
O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).
O revestimento de carboneto de tântalo (TaC) tem ganhado atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880°C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando-o uma alternativa atraente para compostos de processos de epitaxia de semicondutores com requisitos de temperatura mais elevados, como o sistema Aixtron MOCVD e o processo de epitaxia LPE SiC. Ele também tem uma ampla aplicação no processo de crescimento de cristal SiC do método PVT.
Principais recursos:
●Estabilidade de temperatura
●Pureza ultra-alta
●Resistência a H2, NH3, SiH4,Si
●Resistência ao estoque térmico
●Forte adesão ao grafite
●Cobertura de revestimento isolante
● Tamanho de até 750 mm de diâmetro (o único fabricante na China atinge esse tamanho)
Aplicativos:
● Susceptor de aquecimento indutivo
● Elemento de aquecimento resistivo
● Escudo térmico
Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica:
Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo semicondutor VeTek:
| Propriedades físicas do revestimento TaC | |
| Densidade | 14,3 (g/cm³) |
| Emissividade específica | 0.3 |
| Coeficiente de expansão térmica | 6,3 10-6/K |
| Dureza (HK) | 2.000 Hong Kong |
| Resistência | 1x10-5Ohm*cm |
| Estabilidade térmica | <2500℃ |
| Mudanças no tamanho do grafite | -10~-20um |
| Espessura do revestimento | ≥20um valor típico (35um±10um) |
Dados EDX de revestimento TaC：
Dados da estrutura cristalina do revestimento TaC:
| Elemento | Porcentagem atômica | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Média | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Eles | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Placa de rotação de revestimento TaC
A placa de rotação de revestimento TaC da VeTek Semiconductor possui um excelente revestimento TaC. Com seu revestimento TaC excepcional, a placa de rotação de revestimento TaC possui notável resistência a altas temperaturas e inércia química, que a diferenciam das soluções tradicionais. preços e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.
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Placa de revestimento TaC
A placa de revestimento TaC da VeTek Semiconductor é um produto notável que oferece recursos e vantagens excepcionais. Projetada com precisão e projetada com perfeição, nossa placa de revestimento TaC é especificamente adaptada para várias aplicações em processos de crescimento de cristal único de carboneto de silício (SiC). As dimensões precisas e a construção robusta da placa de revestimento TaC facilitam a integração em sistemas existentes, garantindo compatibilidade perfeita e operação eficiente. Seu desempenho confiável e revestimento de alta qualidade contribuem para resultados consistentes e uniformes em aplicações de crescimento de cristais de SiC. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.
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Cobertura de revestimento CVD TaC
A cobertura de revestimento CVD TaC fornecida pela VeTek Semiconductor é um componente altamente especializado projetado especificamente para aplicações exigentes. Com seus recursos avançados e desempenho excepcional, nossa cobertura de revestimento CVD TaC oferece várias vantagens importantes. Nossa cobertura de revestimento CVD TaC fornece a proteção e o desempenho necessários para o sucesso.
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Susceptor Planetário de Revestimento TaC
O susceptor planetário de revestimento VeTek Semiconductor'TaC é um produto excepcional para equipamentos de epitaxia Aixtron. O robusto revestimento TaC oferece excelente resistência a altas temperaturas e inércia química. Esta combinação única garante desempenho confiável e longa vida útil, mesmo em ambientes exigentes. A VeTek está comprometida em fornecer produtos de alta qualidade e servir como parceira de longo prazo no mercado chinês com preços competitivos.
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Placa de suporte do pedestal de revestimento TaC
A placa de suporte de pedestal de revestimento TaC da VeTek Semiconductor é um produto de alta precisão projetado para atender aos requisitos específicos de processos de epitaxia de semicondutores. Com seu revestimento TaC, resistência a altas temperaturas e inércia química, nosso produto permite que você produza camadas EPI de alta qualidade. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.
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Mandril de revestimento TaC
O mandril de revestimento TaC da VeTek Semiconductor apresenta um revestimento TaC de alta qualidade, conhecido por sua excelente resistência a altas temperaturas e inércia química, especialmente em processos de epitaxia (EPI) de carboneto de silício (SiC). Com suas características excepcionais e desempenho superior, nosso mandril de revestimento TaC oferece várias vantagens importantes. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.
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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de tântalo na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de tântalo avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.
