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China Revestimento de carboneto de tântalo Fabricante, fornecedor, fábrica
A VeTek semiconductor é fabricante líder de materiais de revestimento de carboneto de tântalo para a indústria de semicondutores. Nossas principais ofertas de produtos incluem peças de revestimento de carboneto de tântalo CVD, peças de revestimento TaC sinterizadas para crescimento de cristal SiC ou processo de epitaxia semicondutor. Aprovado pela ISO9001, a VeTek Semiconductor tem um bom controle de qualidade. A VeTek Semiconductor se dedica a se tornar inovadora na indústria de revestimento de carboneto de tântalo por meio de pesquisa e desenvolvimento contínuos de tecnologias iterativas.
Os principais produtos sãoAnel defeituoso com revestimento de carboneto de tântalo, anel de desvio revestido com TaC, peças em meia-lua revestidas com TaC, disco de rotação planetária revestido com carboneto de tântalo (Aixtron G10), cadinho revestido com TaC; Anéis revestidos com TaC; Grafite Porosa Revestida com TaC; Susceptor de grafite com revestimento de carboneto de tântalo; Anel guia revestido com TaC; Placa revestida de carboneto de tântalo TaC; Susceptor de Wafer Revestido com TaC; Anel de Revestimento TaC; Cobertura de grafite com revestimento TaC; Pedaço revestido com TaCetc., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.
O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).
O revestimento de carboneto de tântalo (TaC) tem ganhado atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880°C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando-o uma alternativa atraente para compostos de processos de epitaxia de semicondutores com requisitos de temperatura mais elevados, como o sistema Aixtron MOCVD e o processo de epitaxia LPE SiC. Ele também tem uma ampla aplicação no processo de crescimento de cristal SiC do método PVT.
Principais recursos:
●Estabilidade de temperatura
●Pureza ultra-alta
●Resistência a H2, NH3, SiH4,Si
●Resistência ao estoque térmico
●Forte adesão ao grafite
●Cobertura de revestimento isolante
● Tamanho de até 750 mm de diâmetro (o único fabricante na China atinge esse tamanho)
Aplicativos:
● Susceptor de aquecimento indutivo
● Elemento de aquecimento resistivo
● Escudo térmico
Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica:
Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo semicondutor VeTek:
| Propriedades físicas do revestimento TaC | |
| Densidade | 14,3 (g/cm³) |
| Emissividade específica | 0.3 |
| Coeficiente de expansão térmica | 6,3 10-6/K |
| Dureza (HK) | 2.000 Hong Kong |
| Resistência | 1x10-5Ohm*cm |
| Estabilidade térmica | <2500℃ |
| Mudanças no tamanho do grafite | -10~-20um |
| Espessura do revestimento | ≥20um valor típico (35um±10um) |
Dados EDX de revestimento TaC：
Dados da estrutura cristalina do revestimento TaC:
| Elemento | Porcentagem atômica | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Média | |
| CK | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Eles | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Grafite porosa com revestimento TaC
Grafite Porosa com Revestimento TaC é um material avançado de processamento de semicondutores fornecido pela VeTek Semiconductor. A grafite porosa com revestimento TaC combina as vantagens da grafite porosa e do revestimento de carboneto de tântalo (TaC), com boa condutividade térmica e permeabilidade a gases. A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.
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Cobertura de revestimento de carboneto de tântalo
VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de cobertura de revestimento de carboneto de tântalo na China. Nosso foco é fornecer produtos de carboneto de tântalo de alta pureza e resistentes a altas temperaturas. Nossa cobertura revestida de carboneto de tântalo tem excelente desempenho e confiabilidade e pode proteger efetivamente materiais em temperaturas extremamente altas e ambientes corrosivos. Estamos ansiosos para nos tornarmos seu parceiro de longo prazo na China.
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Anel Defletor Revestido TaC
O anel defletor revestido com TaC da VeTek Semiconductor é um componente altamente especializado projetado para processos de crescimento de cristal de SiC. O revestimento TaC oferece excelente resistência a altas temperaturas e inércia química para lidar com altas temperaturas e ambientes corrosivos durante o processo de crescimento de cristais. Isso garante desempenho estável e longa vida útil do componente, reduzindo a frequência de substituição e o tempo de inatividade. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.
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Tubo revestido de carboneto de tântalo para crescimento de cristais
VeTek Semiconductor é um fabricante líder de tubo revestido de carboneto de tântalo para crescimento de cristal na China. Somos especializados em revestimento cerâmico há muitos anos. na China.
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Anel revestido de TaC para reator epitaxial de SiC
VeTek Semiconductor é um fabricante e inovador de anel revestido TaC em grande escala para reator epitaxial SiC na China. Somos especializados em revestimento TaC há muitos anos. ansioso para se tornar seu parceiro de longo prazo na China.
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Peça de meia lua revestida de carboneto de tântalo para LPE
VeTek Semiconductor é uma peça Halfmoon revestida com carboneto de tântalo em grande escala para fabricante e inovador de LPE na China. Somos especializados em revestimento TaC há muitos anos. para se tornar seu parceiro de longo prazo na China.
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Como fabricante e fornecedor profissional de Revestimento de carboneto de tântalo na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas de sua região ou deseja comprar Revestimento de carboneto de tântalo avançados e duráveis fabricados na China, deixe-nos uma mensagem.
